24pPSA-4 歪み分布を制御したSi表面の解析 : 理論と実験
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 2000-09-10
著者
-
荻野 俊郎
横国大
-
荻野 俊郎
横浜国立大学大学院工学研究院
-
荻野 俊郎
NTT物性基礎研
-
尾身 博雄
NTT物性科学基礎研究所
-
Bottomley David
NTT物性科学基礎研究所
-
BOTTOMLEY David
日本電信電話(株)NTT物性科学基礎研究所
-
尾身 博雄
Ntt物性基礎研
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