斜入射X線回折によるシリコンナノ薄膜の歪解析
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概要
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- 日本表面科学会の論文
- 2007-12-10
著者
-
小林 慶裕
NTT物性基礎研
-
川村 朋晃
NTT物性科学基礎研究所
-
藤川 誠司
兵庫県立大学理学部
-
尾身 博雄
NTT物性科学基礎研究所
-
篭島 靖
兵庫県立大学大学院物質理学研究科
-
篭島 靖
兵庫県立大学
-
津坂 佳幸
兵庫県立大学
-
松井 純爾
兵庫県先端科学技術支援センター
-
藤川 誠司
兵庫県立大学
-
尾身 博雄
Ntt物性基礎研
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