放射光利用X線マイクロビームによる半導体結晶中の高精度歪み評価 : 招待講演
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
Utilizing synchrotron radiation from SPring-8, an X-ray microbeam with a narrow energy bandwidth and a small angular divergence has been developed. Using the X-ray microbeam, we have demonstrated to measure very local and minute lattice strain in various semiconducting materials after some wafer preparation processes or device fabrication processes. Local strain in a Si crystal around the SiO_2/Si film edges and that in top Si layers of silicon-on-insulator (SOI) crystals are discussed as sample materials.
- 日本結晶成長学会の論文
- 2002-07-01
著者
-
松井 純爾
姫路工業大学
-
篭島 靖
姫路工業大学
-
津坂 佳幸
姫路工業大学
-
横山 和司
姫路工業大学理学部
-
竹田 晋吾
姫路工業大学理学部
-
篭島 靖
兵庫県立大学大学院物質理学研究科
-
横山 和司
姫路工業大学大学院理学研究科
-
松井 純爾
(財)ひょうご科学技術協会兵庫県放射光ナノテク研究所
-
竹田 晋吾
(財)ひょうご科学技術協会兵庫県放射光ナノテク研究所
-
篭島 靖
兵庫県大 大学院物質理学研究科
関連論文
- 屈折コントラストイメージング
- 放射光を用いた屈折コントラストイメージング
- X線屈折コントラストイメージング
- 屈折イメージング
- X線マイクロビームを用いた局所領域微量ひずみの検出
- 新しい実験手法が拓く構造物性 高分解能マイクロビームX線回折法による半導体レーザー素子の評価 (放射光X線による構造物性研究の最前線 特集号) -- (放射光構造物性研究の最前線)
- 23aYH-9 サブミクロンの空間分解能をもつX線位相顕微鏡の開発
- ナノシリコン層の歪み解析
- 斜入射X線回折法による気相中半導体表面の解析=水素中InP表面超構造の解明=
- 高輝度放射光を用いた気相中結晶成長プロセス中の表面構造解析
- 高輝度放射光を用いた気相中結晶成長プロセス中の表面構造解析
- 硬X線顕微干渉計の構築と顕微位相トモグラフィへの応用
- 放射光X線顕微鏡の現状と今後の展望
- 放射光X線顕微鏡の現状と今後の展望
- 硬X線位相差顕微鏡による植物生体試料の観察
- 放射光を用いた非破壊元素マッピングによる感染葉の観察(平成12年度 日本植物病理学会大会 講演要旨)
- 斜入射X線回折によるシリコンナノ薄膜の歪解析
- IV 兵庫県放射光研究施設の管理・運営(X線光学)
- III MOCVDを用いた半導体低次元構造の成長機構に関する研究(X線光学)
- II 電子材料等の局所構造に関する研究(X線光学)
- I X線顕微鏡の開発と物質・生命科学への応用研究(X線光学)
- IV 兵庫県放射光研究施設の管理・運営(X線光学,物質理学研究科)
- III MOCVDを用いた半導体低次元構造の成長機構に関する研究(X線光学,物質理学研究科)
- II 電子材料等の局所構造に関する研究(X線光学,物質理学研究科)
- I X線顕微鏡の開発と物質・生命科学への応用研究(X線光学,物質理学研究科)
- IV 兵庫県放射光研究施設の管理・運営(X線光学)
- III MOCVDを用いた半導体低次元構造の成長機構に関する研究(X線光学)
- II 電子材料等の局所構造に関する研究(X線光学)
- I X線顕微鏡の開発と物質・生命科学への応用研究(X線光学)
- X線顕微鏡
- フレネルゾーンプレートとその応用の最前線
- 第8回X線顕微鏡国際会議報告
- 放射光利用X線マイクロビームによる半導体結晶中の高精度歪み評価 : 招待講演
- SPring-8を利用した毛髪内部の構造変化測定
- SPring-8シンクロトロンX線源
- 解説 SPring-8シンクロトロンX線源 (特集 X線源の新潮流とX線画像技術)
- 高性能X線マイクロビーム形成技術の開発とX線顕微鏡への応用研究
- 第7回X線顕微鏡国際会議XRM2002に参加して