イオン照射による化合物半導体表面の変質現象
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概要
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- 日本表面科学会の論文
- 2004-04-10
著者
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本間 芳和
日本電信電話(株)ntt物性科学基礎研究所
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本間 芳和
日本電信電話株式会社 Ntt物性科学基礎研究所
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荻原 俊弥
NTTアドバンステクノロジ(株)
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荻原 俊弥
Nttアドバンステクノロジ(株)材料分析センタ
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