ミニコンを用いたFZ結晶自動育成システム : FZ・CZ法

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概要

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• 日本結晶成長学会の論文
• 1980-07-05

著者

• 大坂 次郎

  Ntt Lsi 研究所

• 間田 洋一

  電電公社武蔵野研究所

• 大坂 次郎

  電電公社武蔵野研究所

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