28aTA-3 シリコン中の窒素の偏析係数の理論的解析
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 2001-03-09
著者
-
原田 英明
大阪府立大学先端科学研究所
-
山中 陽一郎
大阪府立大学先端科学研究所
-
井上 直久
大阪府大先端研
-
井上 直久
大阪府大
-
井上 直久
大阪府立大学先端科学研究所
-
井上 直久
大阪府立大学 先端科学研究所
-
森 篤史
徳島大工学郡
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