<シリコン中の結晶成長時導入欠陥の正体に迫る> シリコン結晶中の成長時導入欠陥について

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概要

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• 応用物理学会の論文
• 1997-07-10

著者

• 井上 直久

  大阪府大先端研

• 井上 直久

  大阪府大

• 井上 直久

  大阪府立大学先端科学研究所

• 井上 直久

  大阪府立大学 先端科学研究所

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