Czochralskiシリコン結晶中の窒素濃度測定の高精度化

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概要

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• 日本真空協会の論文
• 2003-03-20

著者

• 井上 直久

  大阪府大

• 井上 直久

  大阪府立大学先端科学研究所

• 橋本 理史

  大阪府立大学 先端科学研究所

• 松本 智和

  大阪府立大学 先端科学研究所

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