光化学堆積CdS薄膜の結晶構造と光学的特性
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概要
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光化学堆積(PCD)法によって堆積したCdSに熱処理を施し、構造的及び光学的特性の変化を測定した。熱処理前の堆積膜は準安定な立方晶であった。熱処理温度が440℃以下の範囲では立方晶が保たれるが、熱処理温度が450℃に達すると結晶構造は六方晶に変化し、同時に結晶性が向上する。さらにルミネッセンス強度も450℃の熱処理により大きく増加する。光吸収より求めた禁制帯幅は、低温(<400℃)の熱処理で堆積直後に比べて約0.1eV減少した後、450℃の熱処理で急激に増加して単結晶CdSとほぼ同じ値になった。以上より、450℃以上の温度で熱処理を施せば、良好な結晶性の六方晶CdSが得られることが示された。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1998-11-05
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