Stability Improvement of Tactile Sensor of Normal and Shear Stresses Using Ni-Cr Thin Film Gauge
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概要
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Tactile sensor consisted of micro-cantilevers has been developed to detect both normal and shear stresses, and have human-friendly surface. NiCr thin film is used as strain gauge having low resistance drift, although Si piezo-resistance gauge shows the large resistance drift induced by large temperature coefficient of resistance (TCR) and its output is unstable. TCRs of NiCr films prepared by vacuum evaporation and sputtering (at RT and 600°C) are 0.054%, 0.082%, and 0.0065%, respectively, and are much lower than that of Si, 0.25%. As a result, reduction of resistance drift and stabilization of the sensor have been obtained by using NiCr thin gauge.
- 2009-11-01
著者
-
奥山 雅則
大阪大学基礎工学研究科
-
ONISHI Hiroyuki
Graduate School of Engineering Science, Osaka University
-
SOHGAWA Masayuki
Graduate School of Engineering Science, Osaka University
-
TACHIBANA Hiroto
Graduate School of Engineering Science, Osaka University
-
HUANG Yu
Graduate School of Engineering Science, Osaka University
-
KANASHIMA Takeshi
Graduate School of Engineering Science, Osaka University
-
OKUYAMA Masanori
Graduate School of Engineering Science, Osaka University
-
YAMASHITA Kaoru
Graduate School of Science and Technology, Kyoto Institute of technology
-
NODA Minoru
Graduate School of Science and Technology, Kyoto Institute of technology
-
NOMA Haruo
ATR Knowledge Science Labs.
-
野田 三喜男
愛知教大
-
Huang Yu
Graduate School Of Engineering Science Osaka University
-
Noda Minoru
Graduate School Of Engineering Science Osaka University
-
Onishi Hiroyuki
Graduate School Of Engineering Science Osaka University
-
Okuyama Masanori
Graduate School Of Engineering Science Osaka University
-
Noda M
Department Of Electronics Fukuoka Institute Of Technology
-
Yamashita Kaoru
Graduate School Of Science And Technology Kyoto Institute Of Technology
-
Yamashita Kaoru
Graduate School Of Engineering Science Osaka University
-
Tachibana Hiroto
Graduate School Of Engineering Science Osaka University
-
Sohgawa Masayuki
Graduate School Of Engineering Science Osaka University
-
Kanashima Takeshi
Graduate School Of Engineering Science Osaka University
-
Kanashima Takeshi
Department Of Electrical Engineering Faculty Of Engineering Science Osaka University
-
Kanashima Takeshi
Division Of Advanced Electronics And Optical Science Department Of System Innovation Graduate School
-
Narita Masanao
Institute Of Space And Astronautical Science Japan Aerospace Exploration Agency
-
Okuyama M
Graduate School Of Engineering Science Osaka University
-
Sougawa Masayuki
Graduate School Of Engineering Science Osaka University
-
Kanashima Takeshi
Area Of Materials And Device Physics Department Of Physical Science Graduate School Of Engineering S
-
Onishi Hiroyuki
Graduate School Of Agriculture Kinki University
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