Fabrication and Normal/Shear Stress Responses of Tactile Sensors of Polymer/Si Cantilevers Embedded in PDMS and Urethane Gel Elastomers
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概要
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Cantilever-type tactile sensors of silicon-polymer beam structures were fabricated by surface micromachining and covering with elastomers. Two kinds of elastomers with different Youngs modulus PDMS and urethane gel have been used to control deflection of the cantilevers and adjust the sensitivity cantilever-type tactile sensors. The resistance change of the sensor with PDMS has linear dependence on normal and shear stresses, but that of the sensor with urethane gel is nonliner to normal and shear stresses. However, the sensitivity of urethane gel type sensor is about 30 times larger than PDMS type sensor.
- 社団法人 電気学会の論文
- 2008-05-01
著者
-
奥山 雅則
大阪大学基礎工学研究科
-
SOHGAWA Masayuki
Graduate School of Engineering Science, Osaka University
-
HUANG Yu
Graduate School of Engineering Science, Osaka University
-
KANASHIMA Takeshi
Graduate School of Engineering Science, Osaka University
-
YAMASHITA Kaoru
Graduate School of Science and Technology, Kyoto Institute of technology
-
NODA Minoru
Graduate School of Science and Technology, Kyoto Institute of technology
-
NOMA Haruo
ATR Knowledge Science Labs.
-
野田 三喜男
愛知教大
-
OKUYAMA Masanori
Department of Electrical Engineering, Facully of Engineering Science, Osaka University
-
Huang Yu
Graduate School Of Engineering Science Osaka University
-
Noda Minoru
Graduate School Of Engineering Science Osaka University
-
KANASHIMA Takeshi
Department of Physical Science, Graduate School of Engineering Science, Osaka University
-
Okuyama Masanori
Department Of Electrical Engineering Faculty Of Engineering Schience Osaka University
-
Noda M
Department Of Electronics Fukuoka Institute Of Technology
-
Yamashita Kaoru
Graduate School Of Science And Technology Kyoto Institute Of Technology
-
Yamashita Kaoru
Graduate School Of Engineering Science Osaka University
-
Kanashima Takeshi
Graduate School Of Engineering Science Osaka University
-
Kanashima Takeshi
Department Of Electrical Engineering Faculty Of Engineering Science Osaka University
-
Kanashima Takeshi
Division Of Advanced Electronics And Optical Science Department Of System Innovation Graduate School
-
Narita Masanao
Institute Of Space And Astronautical Science Japan Aerospace Exploration Agency
-
HUANG Yu
Department of Engineering Science, Osaka University
-
SOHGAWA Masayuki
Department of Engineering Science, Osaka University
-
Okuyama M
Graduate School Of Engineering Science Osaka University
-
Sougawa Masayuki
Graduate School Of Engineering Science Osaka University
-
Kanashima Takeshi
Area Of Materials And Device Physics Department Of Physical Science Graduate School Of Engineering S
-
Ming Huang
Department of Engineering Science, Osaka University
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