C-5 Si基板上に作製したPbTiO_3薄膜マイクロ超音波センサ(超音波の発生・検出)
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概要
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- 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム運営委員会の論文
- 1983-12-06
著者
-
奥山 雅則
大阪大学基礎工学研究科
-
奥山 雅則
大阪大学基礎工学部電気工学科
-
浜川 圭弘
立命館大学大学院
-
浜川 圭弘
大阪大学基礎工学部
-
浜川 圭弘
大阪大学 基礎工学部
-
奥山 雅則
阪大基礎工
-
大谷 浩三
大阪大学基礎工学部
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