強誘電体薄膜とセンサ開発

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概要

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• 日本真空協会の論文
• 1993-11-20

著者

• 奥山 雅則

  大阪大学基礎工学研究科

• 奥山 雅則

  大阪大学基礎工学部電気工学科

• 奥山 雅則

  阪大基礎工

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