Pb(Zr, Ti)O_3薄膜の低温・高速堆積用の固体酸素供給源による反応性スパッタ法の提案
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概要
著者
-
佐々木 公洋
金沢大学大学院 自然科学研究科
-
吉田 行男
金沢大学工学部電気電子システム工学科
-
川越 進也
金沢大学大学院自然科学研究科
-
金 済徳
金沢大学大学院自然科学研究科
-
畑 朋延
金沢大学工学部電気電子システム工学科
-
畑 朋延
独立行政法人科学技術振興機構 研究成果活用プラザ石川
-
畑 朋延
金沢大学工学部
-
佐々木 公洋
金沢大学自然科学研究科
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