透明トランスジューサ法PASによる半導体熱物性の評価
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概要
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透明トランスジューサ法PASを用いて、2つの未知な熱物性値、即ち、熱拡散率及び熱伝導率を同時に算出する方法を検討した。トランスジューサ側入射の場合の信号をVf、試料側入射の場合の信号をVr、変調周波数をfとすると、Re(Vf, Vr)、Im(Vf/(Vr√f>))、Re(1/(Vrf√f>))、Im(1/(Vrf))の√f>に対する特性が、低周波数値域では直線近似され、それらの傾きや切片を用いて算出した。本方法をSi及びInPに適用した結果、算出された熱物性値が文献値に近いものであり、また、得られた値を用いて計算した厳密解による理論値は、実績値とよく一致した。このことから、本方法は半導体の熱物性値の評価に有効と言える。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1993-07-23
著者
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