Synthesis of Aluminium Nitride Film by Reactive DC Ion Plating
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概要
著者
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波田 敏雄
金沢大学工学部
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武田 文雄
富山工専
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武田 文雄
富山高専
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畑 朋延
金沢大 工
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武田 文雄
Toyama National College of Technology
-
畑 朋延
Faculty of Technology,kanazawa University
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波田 敏雄
Faculty of Technology,kanazawa University
-
波田 敏雄
Faculty Of Engineering Kanazawa University
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