WO_3薄膜の膜密度とNO_2ガス検出特性(薄膜プロセス・材料,一般)

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概要

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• 高感度なNO_2ガスセンサーを得るために,WO_3薄膜の多孔性と貴金属(Au,Pt,Ru)添加効果について調べた.反応性直流マグネトロンスパッタ法により石英基板上にWO_3薄膜を作製し,大気中600℃で4時間熱処理した.膜の結晶構造はXRDで,表面形状はAFMで観察した.膜にPtスパッタ膜のくし型電極を付け,3ppmのNO_2ガスに対する感度を調べた.基板温度を低くし,また放電ガス圧力を高くすると膜密度の低い多孔質な膜が得られ,感度が向上することが判明した.またAu (0.25at.%)を添加した膜密度の低い膜で最も高い感度が得られた.

• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 2003-11-03

著者

• 中谷 訓幸

  富山大院理工

• 喜久田 寿郎

  富山大院理工

• 武田 文雄

  富山工専

• 武田 文雄

  富山工業高等専門学校

• 武田 文雄

  富山高専

• 山崎 登志成

  富山大学大学院理工学研究部

• 中谷 訓幸

  富山大学工学部

• 中谷 訓幸

  富山大 工

• 山崎 登志成

  富山大学工学部

• 喜久田 寿郎

  富山大学工学部

• 金 成姫

  富山大学工学部

• 白井 康義

  富山大学工学部

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