マスクを用いたスパッタ膜のパターン形成
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 2001-03-20
著者
-
吉澤 寿夫
富山大学工学部知能情報工学科
-
山淵 龍夫
富山大学工学部知能情報工学科
-
中谷 訓幸
富山大院理工
-
喜久田 寿郎
富山大院理工
-
山崎 登志成
富山大学大学院理工学研究部
-
広林 茂樹
富山大学工学部
-
広林 茂樹
金沢大学工学部電気・情報工学科
-
中谷 訓幸
富山大学工学部
-
吉沢 寿夫
富山大学工学部
-
中谷 訓幸
富山大 工
-
山淵 龍夫
富山大学工学部
-
山崎 登志成
富山大学工学部
-
喜久田 寿郎
富山大学工学部
-
HIROBAYASHI Shigeki
Kanazawa University
-
Hirobayashi Shigeki
Department Of Intellectual Information System Engineering Faculty Of Engineering Toyama University
-
吉沢 寿夫
富山大学大学院理工学研究部
関連論文
- 20pHS-6 電磁ホーン型ESRによる誘電ロスの大きな試料・大型試料等極端試料の応用計測VII(20pHS 誘電体(硫安・TGS・水素結合系),領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン))
- 28aRB-8 硫酸グリシンへのアミノ酸のドーピング(28aRB 誘電体(TGS・硫安系),領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性))
- 17aWE-3 遷移金属イオンを添加したTGS単結晶の物性研究
- 複数パターンの文字列照合におけるマッチングマシンの動的構成法
- 一般形状6面体辺要素を用いた有限要素電磁界解析
- 19pYM-4 硫酸グリシン(TGS)の低温熱容量(誘電体,領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性))
- 焦電検出法による硫酸グリシンの分極反転の観察
- リンをド-プした硫酸グリシン単結晶の作製とその強誘電的特性
- 焦電検出法を用いた硫酸グリシンの強誘電分域構造の観察
- 熱処理した硫酸グリシンの強誘電分域構造の経時変化
- 28aYJ-6 電磁ホーン型ESRによる誘電ロスの大きな試料・大型試料等極端試料の応用計測VI(誘電体(TGS・硫安系),領域10,誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性)
- 20aXA-5 L-トレオニンおよびL-メチオニンをドープしたTGS単結晶の作製と強誘電特性(誘電体,領域10,誘導体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性)
- 30pYA-10 L-リシンをドープしたTGSの強誘電特性(30pYA 誘電体,領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性))
- MAP-MRFモデリングを用いたHMMに基づく交通監視映像の分類手法(一般セッション)
- 植物生体電位を用いた人体活動モニタリング
- 27aYR-10 単斜晶系強誘電体TGSの極低温城までの熱膨張測定(誘電体,領域10(誘電体, 格子欠陥, X線・粒子線, フォノン物性))
- 反強誘電性液晶セルの光学応答特性
- 超音波洗浄槽の結合振動モードの有限要素シミュレーション
- 19pYM-5 GPI(亜リン酸グリシン)の強誘電相転移の研究IV(誘電体,領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性))
- 27pXK-2 GPI(亜リン酸グリシン)の強誘電相転移の研究III(誘電体)(領域10)
- 27pXK-1 亜リン酸グリシン(GPI)の強誘電相転移点近傍での熱膨張測定II(誘電体)(領域10)
- 21aXC-2 亜リン酸グリシン (GPI) の強誘電相転点近傍での熱膨張測定
- 21aXC-1 GPI (亜リン酸グリシン)の強誘電相転移の研究 II
- 31aXJ-6 GPI (亜リン酸グリシン)の強誘電相転移の研究
- 残響音場における音響信号のエンベロープ推定法の評価
- 音場伝達系における音響信号のエンベロープ推定法の評価
- コーンスピーカの防塵キャップ
- 弾性振動殻 : 音響放射系の有限要素シミュレーション : スピーカ・システム特性計算への応用例
- 高分解能の周波数解析法を用いたスペクトルサブトラクションの改善
- 残響音場における相互相関関数を用いた音源包絡の回復(騒音,振動)
- 駆動部分の影響を考慮した超音波洗浄槽の音響モードの有限要素解析
- 信号の相対的な振幅変化に着目した残響抑圧
- 超音波洗浄槽の結合振動モードの解析
- スパッタ膜のパターン形成用金属マスクの熱変形
- マスクを用いたスパッタ膜のパターン形成
- スパッタ膜のパターン形成用金属マスクの有限要素法熱変形解析
- 帯域分割を用いたパワーエンベロープ逆フィルタ処理の残響抑圧効果
- ガスセンサの単一ガス対数特性を拡張した複合ガスの濃度推定
- ケプストラム処理による室内ガス発生事象信号の復元
- パワーエンベロープに着目した残響音声の回復
- マルチガスセンサとプロダクションシステムを用いた室内空気汚染ガスの検知システム
- 声帯自励振動の有限要素シミュレーション : 呼気流の圧縮性の効果について
- 21pVE-6 亜リン酸グリシンの強誘電性へのX線照射効果(21pVE 誘電体(水素結合系),領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性))
- 20aXA-3 強誘電軸に垂直な電場による強誘電性への影響2(誘電体,領域10,誘導体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性)
- 20aXA-4 強誘電体TGSの極低温域での熱膨張異常(誘電体,領域10,誘導体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性)
- 30pYA-9 TGSの分極反転における結晶構造の変化(30pYA 誘電体,領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性))
- 27pYR-5 TAAPにおける重水素置換効果(誘電体,領域10(誘電体, 格子欠陥, X線・粒子線, フォノン物性))
- 27aYR-8 強誘電軸に垂直な電場による強誘電性への影響1(誘電体,領域10(誘電体, 格子欠陥, X線・粒子線, フォノン物性))
- WO_3薄膜の膜密度とNO_2ガス検出特性(薄膜プロセス・材料,一般)
- WO_3薄膜の膜密度とNO_2ガス検出特性
- スパッタ原子輸送シミュレーションの応用
- 有限要素法によるコーン形スピーカの音放射解析
- ガスセンサを用いたEpipremnum aureum のホルムアルデヒド浄化過程のモデル化
- 気相成長によるシリコン結晶について
- 29a-A-5 サルコシンをドープしたTGS単結晶の作成とその強誘電特性
- 有限要素法による超音波洗浄槽の音響モードの解析
- 圧電超音波モータ特性の数値シミュレーション
- 声帯自励振動の有限要素シミュレーション
- 任意の吸音壁を持つ音響フィルタの有限要素シミュレーション
- 任意な電極配列を持つ電気・機械素子の有限要素シミュレーション
- 3次元電磁界解析における六面体辺要素について
- 一般形状6面体辺要素を用いた有限要素電磁界解析 : 2次試験関数を用いた場合
- 単結晶育成中に発生する応力(II) : 融液成長II
- 重水素置換した亜リン酸グリシンの強誘電特性
- 25aYQ-10 亜リン酸グリシン単結晶の作製
- 26p-A-13 焦電検出法によるTGSの分域壁移動の観察
- 強誘電履歴曲線の精密自動反転
- 3a-R-10 リン酸をドープしたTGSの特性
- 28p-YS-2 TGSの分極応答のフーリエ解析
- 28p-ZR-4 酒石酸カルシウムの強誘電性について
- 27p-M-7 DL-アラニンをドープしたTGSの分域構造
- 30a-L-5 アラニンをドープしたTGSの結晶形と内部バイアス
- 有限要素法による集束トランスジュ-サの応答解析
- 圧電材における分極プロセスシミュレ-ション--3D有限要素モデルによる (電界・磁界解析技術)
- ハイブリッド型無限要素を用いたポアソン,ヘルムホルツ開領域問題の解析
- 無限要素を用いたポアソン,ヘルムホルツ開領域問題の解析
- 有限要素法による開放端をもつ音響フィルタの伝達特性予測
- 音響ダクトの有限要素シミュレ-ション
- 軸対称圧電振動体の有限要素シミュレ-ション
- 硫酸グリシンの強誘電分域構造に対する熱処理効果
- 硫酸グリシンの強誘電分域壁の誘電率への寄与
- 走査型電子顕微鏡による硫酸グリシンの強誘電分域の観察
- 硫酸グリシンの分極反転
- 硫酸グリシンの焦電気電流と自発分極
- マグネトロンスパッタ法による金属膜の膜厚分布
- 22p-P-6 一軸性圧力のTGSヒステリシスへの効果. I
- 1a GG-2 キュリー点近傍におけるTGSの劈開面
- 4a-KN-2 TGSのX線照射におけるワクチン効果
- 12p-H-5 PbHPO_4の誘電率
- 30a-W-1 PbHPO_4の分域構造 I
- 1a-SC-5 PbHPO_4の誘電率
- 2a-NB-9 ネマチック液晶によるTGSの分域観察 II
- 28a-W-3 TGSの分極反射
- 6a-AA-4 TGSの壁閉面のミクロな構造 II
- 31a-BD-7 TGSの劈開面のミクロな構造
- 10a-N-7 TGSの劈開面のミクロな構造
- 8a-K-3 TGSの分極反転・III
- 5p-N-1 TGSの劈開面のミクロな構造
- 12p-K-13 TGSの分極反転 I
- 3a-KB-4 TGS劈開面にあらわれる分域