マグネトロンスパッタ法によるA1N及びZnO膜のC軸配向性の基盤温度とガス圧依存性
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概要
著者
-
武田 文雄
富山工専
-
武田 文雄
富山高専
-
池田 長康
富山大学工学部
-
直江 正彦
Dept. Of Physical Electronics Faculty Of Engineering Tokyo Institute Of Technology
-
高橋 隆一
富山大学工学部
-
池田 長康
富山大
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