Cr下地層の改善による長手磁気記録用Co-Cr-Ta薄膜の特性改善(<特集>磁性薄膜及び一般)

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概要

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長手磁気記録の高密度化にあたってノイズが大きな問題となる。遷移領域ノイズは磁性粒子を微細化、均一化することによって低減できると考えられるが、Co-Cr系合金の微細構造はCr下地層に大きく依存することから本研究ではCr下地層の改善を目的とした。改善の方法として、Cr層堆積を間欠的に行う方法と、Cr層に添加を行うという2つの方法を試みた。間欠的堆積ではIntervalをとった場合に結晶子サイズの減少と保磁力の増加がみられ、薄い膜厚において粒子の微細化が確認できた。Cr層への添加ではTi添加により添加量約7〜16at.%において高保磁力、高角形比を得、10at.%付近においては微細化も確認できた。
社団法人電子情報通信学会の論文
1999-09-17

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