Growth of indium nitride film by rf reactive sputtering
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概要
著者
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波田 敏雄
金沢大学工学部
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武田 文雄
富山工専
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武田 文雄
富山高専
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武田 文雄
Toyama National College of Technology
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波田 敏雄
Faculty of Technology,kanazawa University
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波田 敏雄
Faculty Of Engineering Kanazawa University
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