制限反応スパッタ法によるZrO_2薄膜作製における成長遅れ時間
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概要
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- 2006-11-02
著者
-
佐々木 公洋
金沢大学大学院 自然科学研究科
-
周 英
金沢大学大学院自然科学研究科
-
小島 述央
金沢大学大学院自然科学研究科
-
杉山 英孝
金沢大学大学院自然科学研究科
-
山岸 大朗
金沢大学工学部
-
佐々木 公洋
金沢大学大学院自然科学研究科
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