杉山 英孝 | 金沢大学大学院自然科学研究科
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概要
関連著者
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佐々木 公洋
金沢大学大学院 自然科学研究科
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杉山 英孝
金沢大学大学院自然科学研究科
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佐々木 公洋
金沢大学大学院自然科学研究科
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周 英
金沢大学大学院自然科学研究科
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山岸 大朗
金沢大学工学部
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金沢大学自然科学研究科
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石川県工業試験場
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小原 一顕
金沢大学大学院自然科学研究科
著作論文
- 制限反応スパッタ法によるZrO_2薄膜作製における成長遅れ時間(薄膜プロセス・材料,一般)
- 制限反応スパッタ法によるZrO_2薄膜作製における成長遅れ時間
- 制限反応スパッタ法によるZrO_2 High-k絶縁膜作製における堆積遅れ時間(ゲート絶縁膜, 容量膜, 機能膜及びメモリ技術)