小原 一顕 | 金沢大学大学院自然科学研究科

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概要

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• 同名の論文著者
• 金沢大学大学院自然科学研究科の論文著者

関連著者

• 佐々木 公洋

  金沢大学大学院 自然科学研究科

• 米澤 保人

  石川県工業試験場

• 杉山 英孝

  金沢大学大学院自然科学研究科

• 佐々木 公洋

  金沢大学大学院自然科学研究科

• 小原 一顕

  金沢大学大学院自然科学研究科

• 佐々木 公洋

  金沢大学自然科学研究科

著作論文

• 制限反応スパッタ法によるZrO_2 High-k絶縁膜作製における堆積遅れ時間(ゲート絶縁膜, 容量膜, 機能膜及びメモリ技術)

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