酸素イオンのスパッタ照射による酸化物薄膜の作製装置
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概要
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- 2006-11-02
著者
-
佐々木 公洋
金沢大学大学院 自然科学研究科
-
畑 朋延
独立行政法人科学技術振興機構 研究成果活用プラザ石川
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佐々木 公洋
金沢大学大学院自然科学研究科
-
千葉 忍
金沢大学大学院 自然科学研究科
-
元木 詮
CBC株式会社
-
伊藤 昭彦
芝浦メカトロニクス株式会社
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