電子ビーム励起プラズマアシスト陽極真空アークイオンプレーティングで作成したTiO_2膜
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概要
著者
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畑 朋延
独立行政法人科学技術振興機構 研究成果活用プラザ石川
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畑 朋延
金沢大学 ・ 大学院自然科学研究科
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土岐 和之
日本電子株式会社 ・ 産業機器技術本部
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清水 康司
日本電子株式会社 ・ 産業機器技術本部
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土岐 和之
サンユー電子株式会社
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