Production and Control of Low-Pressure Ar and CF_4 Plasmas Using Surface Waves

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概要

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• Publication Office, Japanese Journal of Applied Physics, Faculty of Science, University of Tokyoの論文
• 1998-04-01

著者

• Ghanashev Ivan

  Department of Electrical Engineering, Nagoya University

• Sugai Hideo

  Department of Electrical Engineering, Nagoya University

• 永津 雅章

  静岡大学創造科学技術大学院

• Sugai Hideo

  Department Of Electrical Engineering School Of Engineering Nagoya Univeristy

• 菅井 秀郎

  名古屋大

• Sugai Hideo

  Department Of Electrical Engineering Faculty Of Engineering Nagoya University

• Ghanashev I

  Nagoya Univ. Nagoya Jpn

• Ghanashev Ivan

  Department Of Electrical Engineering Nagoya University

• MORITA Shin

  Department of Rehabilitation, Kagawa Medical University Hospital

• 菅井 秀郎

  中部大学工学部電気システム工学科

• Nagatsu Masaaki

  Department Of Electrical Engineering Graduate School Of Engineering Nagoya University

• Morita Shigenori

  Department Of Electronic Engineering Osaka University

• Morita Shin

  Department Of Orthopedic Surgery Faculty Of Medicine Kagawa University

• Morita S

  Department Of Electrical Engineering Nagoya University

• Sugai Hideo

  Department O Electrical Engineering Nagoya University

• Nagatsu Masaaki

  Department of Electrical and Electronic Engineering, Faculty of Engineering, Shizuoka University, Hamamatsu 432-8561, Japan

• Gnanashev Ivan

  Department of Electrical Engineering, Nagoya University

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