菅井 秀郎 | 名古屋大

スポンサーリンク

概要

• 同名の論文著者
• 名古屋大の論文著者

関連著者

• 菅井 秀郎

  名古屋大

• Sugai Hideo

  Department Of Electrical Engineering School Of Engineering Nagoya Univeristy

• 菅井 秀郎

  中部大学工学部電気システム工学科

• 菅井 秀郎

  中部大学

• 菅井 秀郎

  中部大学工学部

• Sugai Hideo

  Nagoya University

• 菅井 秀郎

  中部大学大学院工学研究科

• Sugai Hideo

  Department Of Electrical Engineering Graduate School Of Engineering Nagoya University

• 菅井 秀郎

  名古屋大学工学部

• 菅井 秀郎

  名古屋大学大学院

• 菅井 秀郎

  名古屋大学大学院工学研究科

• 豊田 浩孝

  名古屋大学

• 中村 圭二

  中部大学工学部電気システム工学科

• 中村 圭二

  中部大学

• 中村 圭二

  中部大学工学部

• Sugai Hideo

  Department of Electrical Engineering, Nagoya University

• 豊田 浩孝

  名古屋大学大学院工学研究科電気工学専攻

• 豊田 浩孝

  名大

• Sugai Hideo

  Department Of Electrical Engineering Faculty Of Engineering Nagoya University

• 永津 雅章

  静岡大学創造科学技術大学院

• 張 祺

  中部大学工学部電気システム工学科

• Nagatsu Masaaki

  Department Of Electrical Engineering Graduate School Of Engineering Nagoya University

• 菅井 秀郎

  名大工

• 菅井 秀郎

  名大院工

• 坂下 洋平

  名古屋大学大学院工学研究科

• 張 祺

  中部大学

• Ghanashev Ivan

  Department of Electrical Engineering, Nagoya University

• Ghanashev Ivan

  Department Of Electrical Engineering Nagoya University

• Nagatsu Masaaki

  Department Of Electrical Engineering Nagoya University

• Morita Shigenori

  Department Of Electronic Engineering Osaka University

• 永津 雅章

  静岡大 創造科学技術大学院

• 安藤 正樹

  名古屋大学大学院工学研究科電気工学専攻

• 石島 達夫

  名古屋大学

• 中村 圭二

  名古屋大学工学部電気工学教室

• Kokura Hikaru

  Department of Electrical Engineering, Nagoya University

• 小倉 輝

  名古屋大学

• Toyoda Haruhisa

  Department Of Material Physics Faculty Of Engineering Science Osaka University

• Nishitani M

  Matsushita Electric Ind. Co. Ltd. Kyoto Jpn

• Nishitani M

  Matsushita Electric Industrial Co. Moriguchi Jpn

• Nishitani Mikihiko

  Central Research Laboratories Matsushita Electric Industrial Co. Ltd.

• Nishitani Mikihiko

  Central Research Laboratories Matsushita Electric Ind. Co. Ltd.

• 伊藤 典和

  名古屋大学工学研究科

• Toyoda H

  Department Of Electrical Engineering School Of Engineering Nagoya Univeristy

• Toyoda H

  Nagoya Univ. Nagoya Jpn

• Toyoda Hirotaka

  Department Of Electrical Engineering Nagoya University

• Ghanashev I

  Nagoya Univ. Nagoya Jpn

• MORITA Shin

  Department of Rehabilitation, Kagawa Medical University Hospital

• 加藤 伸一

  名古屋大学大学院工学研究科

• Toyoda Naoki

  Nissin Inc.

• 伊藤 典和

  東京藝術大学大学院美術研究科先端芸術表現専攻

• Morita Shin

  Department Of Orthopedic Surgery Faculty Of Medicine Kagawa University

• Toyoda Hirotaka

  Department Of Electrical Engineering And Computer Science Nagoya University

• Morita S

  Department Of Electrical Engineering Nagoya University

• 佐野 史道

  京大エネ理工研

• 加藤 剛志

  名古屋大学大学院工学研究科

• 岩田 聡

  名古屋大学大学院工学研究科

• 綱島 滋

  名古屋大学大学院工学研究科

• Kojima Tetsuya

  Department Of Computer Science Tokyo National College Of Technology

• Kojima Tetsuya

  Department Of Biophysics And Biochemistry Graduate School Of Science University Of Tokyo

• Kojima Tetsuya

  Department Of Electrical Engineering School Of Engineering Nagoya Univeristy

• 後藤 真志

  松下電器産業(株)ディスプレイデバイス開発センター

• 森田 健治

  名古屋大学院工学研究科

• 綱島 滋

  名古屋大学

• 大脇 政典

  名古屋大学大学院

• Nakamura Keiji

  Department of Electrical Engineering, Nagoya University

• 豊田 浩孝

  名大工

• Nishitani Mikihiko

  Matsushita Electric Industrial Co. Ltd. Osaka Jpn

• 北川 雅俊

  松下電器産業

• 中村 僖良

  東北大学大学院工学研究科

• Tsunashima Shigeru

  Department Of Electrical Engineering Faculty Of Engineering Nagoya University

• Nakamura Keiji

  Department Of Electrical Electronics And Information Engineering Graduate School Of Engineering Osak

• 森田 健治

  名古屋大学 工

• Kitagawa M

  Matsushita Electric Ind. Co. Moriguchi Jpn

• Kitagawa M

  Matsushita Electric Industrial Co.

• Kitagawa M

  Central Research Laboratories Matsushita Electric Industrial Co. Ltd.

• Kitagawa Masatoshi

  Corporate Production Engineering Laboratories Matsushita Electric Ind.co. Ltd.

• Nakamura K

  Department Of Electrical Engineering School Of Engineering Nagoya University

• Nakamura K

  Tokyo Electron Ltd. Tokyo Jpn

• 鈴木 勇佑

  名古屋大学大学院工学研究科

• 前田 幸春

  名古屋大学大学院工学研究科

• 陳 長川

  名古屋大学大学院工学研究科

• GOSHIMA Kazutomo

  Department of Electrical Engineering, School of Engineering, Nagoya University

• YAMAZOE Hiroshi

  Matsushita Electric Industrial Co.

• 加藤 伸一

  名古屋大

• 石井 昌司

  名大工

• Nishitani Mikihiko

  Matsushita Electric Industrial Co.

• 加藤 剛志

  名古屋大学

• 近藤 克己

  京都大学エネルギー科学研究科

• 服部 正

  日本電装株式会社基礎研究所

• 高井 治

  名古屋大学大学院工学研究科

• 都筑 和泰

  核融合研

• 水内 亨

  京大エネ理工研

• 近藤 克己

  京大エネ科

• 野田 信明

  National Institute for Fusion Science

• 水内 亨

  京都大学エネルギー理工学研究所

• 佐野 史道

  京都大学エネルギー理工学研究所

• 大引 得弘

  京大エネ理工研

• 大引 得弘

  京都大学エネルギー理工学研究所

• 斎藤 芳男

  高エ研

• 鈴木 啓之

  名古屋大学大学院情報科学研究科

• 相良 明男

  核融合研

• 高井 治

  名古屋大 大学院工学研究科

• 高井 治

  名古屋大学

• 原田 亮

  中部大学

• 平尾 孝

  (株)松下テクノリサーチ

• 野田 信明

  核融合研

• 朝日 一

  大阪大学 産業科学研究所

• 朝日 一

  阪大産研

• 田沼 繁夫

  物質・材料研究機構分析支援ステーション

• 朝日 一

  大阪大学産業科学研究所

• 森田 清三

  大阪大学大学院工学研究科

• 吉田 豊信

  東京大学大学院工学系研究科

• 塚田 捷

  早稲田大学大学院理工学研究科

• 齊藤 芳男

  高エネルギー加速器研究機構加速器研究施設

• 石川 喬介

  名古屋大学

• 笹井 建典

  東海ゴム工業

• 都築 和泰

  原研那珂

• 藤田 範人

  京大工

• 山添 博司

  松下電器産業(株)無線研究所

• 塚田 捷

  東京大学大学院理学系研究科・理学部

• 安藤 正樹

  名大工

• 中村 圭二

  中大工

• 糟谷 憲昭

  中部大学

• 米田 慎一

  名古屋大学大学院工学研究科

• Yoneda Shinichi

  Department of Electrical Engineering, Nagoya University

• Mitsuhira Noriyuki

  Sumitomo Metal Industries Co., Ltd.

• Nakamura Moritaka

  Fujitsu Co., Ltd.

• 松永 大輔

  富士通

• 中村 守孝

  富士通

• 松本 直樹

  住友金属

• 小西 英介

  名古屋大学

• 塚田 捷

  東北大学原子分子材料科学高等研究機構

• 塚田 捷

  東京大学理学部

• 田沼 繁夫

  独立行政法人物質・材料研究機構 ナノ計測センター先端表面化学分析グループ

• 西谷 幹彦

  松下電器産業(株)中央研究所

• 坂下 洋平

  名大工

• 西谷 幹彦

  松下電器産業(株)ディスプレイデバイス開発センター

• 的場 久幸

  名古屋大学

• 山崎 智雄

  名古屋大学

• 西谷 幹彦

  松下電器産業

• 五嶋 一智

  名古屋大

• 光岡 義仁

  デンソー基礎研

• 向中野 信一

  デンソー基礎研

• 永津 雅章

  名古屋大学

• 佐野 徹

  名大院工

• 永津 雅章

  名大院工

• 牧野 雅哉

  名大院工

• 高田 昇治

  名大院工

• 光岡 義仁

  名古屋大学工学部電気学科

• 斎藤 芳男

  高エネルギー加速器研究機構

• KITAGAWA Masatoshi

  Central Research Laboratories, Matsushita Electric Industrial Co., Ltd.

• 柏原 淳司

  名古屋大学工学研究科

• Morita S

  Faculty Of Engineering Osaka University

• Morita S

  Osaka Univ. Osaka

• 佐野 史道

  京都大学へリオトロン

• 近藤 克己

  京都大学へリオトロン

• 水内 亨

  京都大学へリオトロン

• 大引 得弘

  京都大学へリオトロン

• 吉田 豊信

  東京大学工学部

• 後藤 真志

  名古屋大学

• 平尾 孝

  松下テクノリサーチ

• 塚田 捷

  早稲田大学大学院理工学研究科ナノ理工学専攻

• 服部 正

  日本電装

• 渡邊 正博

  名古屋大

• 田沼 繁夫

  独立行政法人物質・材料研究機構

• Goto M

  Matsushita Electric Industrial Co.

• 齋藤 芳男

  高エネルギー加速器研究機構

• 塚田 捷

  東京大学理学部物理学科

• KITAGAWA Masatoshi

  Matsushita Electric Industrial Co., Ltd.

• 向中野 信一

  日本電装

• 高井 治

  名古屋大学エコトピア科学研究所・大学院工学研究科

• Ito Akira

  Department Of Biochemistry And Molecular Biology School Of Pharmacy Tokyo University Of Pharmacy And

• Ito Akira

  Department Of Electrical Engineering Graduate School Of Engineering Nagoya University

• 齊藤 芳男

  大学共同利用法人・高エネルギー加速器研究機構・加速器研究施設

• OHISHI Akihiro

  Department of Electrical Engineering, School of Engineering, Nagoya Univeristy

• GOTO Masashi

  Matsushita Electric Industrial Co.

• NISHITANI Mikihiko

  Display Device Development Center, Matsushiita Electric Industrial Co.

• YAMAZOE Hiroshi

  Display Device Development Center, Matsushiita Electric Industrial Co.

• ABDEL-FATTAH Essam

  Department of Electrical Engineering, Graduate School of Engineering, Nagoya University

• Yoneda Shinichi

  Department Of Electrical Engineering Nagoya University

• 石井 昌司

  名古屋大学

• YAMAUCHI Takeshi

  Corporate Manufacturing Engineering Center, TOSHIBA Corporation

• 藤田 範人

  京大エネ理工

• 西村 和仁

  京大エネ理工

• 鬼頭 利治

  京大エネ理工

• 小倉 輝

  名大工

• 飯尾 真

  名古屋大

• 吉田 豊信

  東大・工

• Yamauchi Takeshi

  Corporate Manufacturing Engineering Center Toshiba Corporation

• Tsukada Mineharu

  Fujitsu Laboratories Inorganic Materials & Polymers Laboratory

• Nakamura Moritaka

  Fujitsu Co. Ltd.

• Mitsuhira Noriyuki

  Sumitomo Metal Industries Co. Ltd.

• Nishitani Mikihiko

  Display Device Development Center Matsushita Electrics Industrial Co. Ltd.

• Kitagawa Masatoshi

  Matsushita Electric Industrial Co.

• Kitagawa Masatoshi

  Central Research Laboratories Matsushita Electric Ind. Co. Ltd.

• 山添 博司

  松下電器産業

• 塚田 捷

  早稲田大学大学院

• 伊藤 典和

  名古屋大

• Mishima Syuzo

  Research Department Olympus Optical Co. Ltd.

• 田沼 繁夫

  物質・材料研究機構ナノ計測センター

もっと見る 閉じる

著作論文

• 周波数シフトプローブを用いたプラズマ計測
• IUVSTA Scientific and Technical Divisions (STD) の報告
• マイクロ波励起高密度プラズマを用いたPTFEフィルムの表面改質
• 周波数シフトプローブにおける膜堆積の影響
• 周波数シフトプローブの電子温度計測への応用
• 周波数シフトプローブを用いた電子密度測定におけるプローブ形状の影響
• デュアル表面波プローブを用いた電子密度・電子温度の計測
• プラズマイオン注入における平板ターゲットの二次電子放出率の計測
• 29pA10P プラズマからの真空紫外光とプラズマイオン注入における二次電子放出係数(プラズマ基礎・応用)
• 半導体検出器を用いたプラズマイオン注入における二次電子計測
• 27aA04 プラズマ吸収プローブを用いた有磁場プラズマの密度測定(プラズマ基礎・応用)
• 高周波バイアスを用いた高密度プラズマエッチャー内壁における膜堆積抑制
• イオン衝撃による酸化膜エッチャーの壁制御
• 26aB6 新しい高周波バイアス法による壁制御とエッチングへの応用(ヘリカル/プラズマ応用)
• Plasma Absorption Probe for Measuring Electron Density in an Environment Soiled with Processing Plasmas
• Diagnostic of Surface Wave Plasma for Oxide Etching in Comparison with Inductive RF Plasma
• 表面波励起エッチャーにおけるプラズマ診断とラジカル組成
• アンテナの容量終端による誘導プラズマの高密度化
• 3. 誘導結合プラズマ : プロセス用の新しい高密度プラズマの生成と診断 III
• 23aB35P リチウムコンディショニングによるグラファイトの水素リテンション抑制効果の基礎実験(真空・第一壁・材料, (社) プラズマ・核融合学会第21回年会)
• ジャイアントプラズマプロセス : 低圧から大気圧プロセスまで
• TK06 新しいプラズマ基礎技術の開発研究(プラズマ応用における最近の進展, (社) プラズマ・核融合学会第21回年会)
• 2 プラズマ材料プロセスにおける壁の影響と制御(シンポジウムXI : 低温プラズマと壁)
• シンポジウム : 中部地区若手・中堅研究者の挑戦
• 29pA17P シリコン酸化用表面波プラズマの特性と酸素ラジカル制御(プラズマ基礎・応用)
• 29pA16 マイクロ波スロット励起プラズマの高効率化・高圧力化(プラズマ基礎・応用)
• プラズマ吸収プローブによるプロセスプラズマの電子密度測定
• 誘導結合SiH_4放電によるシリコン薄膜の低温結晶化
• 29pA32P 表面波プラズマを用いたDLC膜の低温形成とその電界電子放出特性(プラズマ壁相互作用・材料/電源・マグネット)
• 6. 表面波プラズマ : プロセス用の新しい高密度プラズマの生成と診断 VI
• 25aB04 リチウムコーティングによるグラファイトの水素リテンション抑制の検討(真空・第一壁・材料)
• 28aB04 グラファイト損耗のリチウムによる抑制機構(プラズマ壁相互作用・材料)
• 紫外透過分光法によるSiH_4プラズマのモニタリング
• 反応性プロセシングプラズマにおける電子密度測定用平板型マイクロ波共振器プローブとシース効果
• 30a-YS-13 ECHプラズマを用いた第一壁その場コーティング
• ECRボロナイゼーションの基礎実験
• 分子イオンの表面衝突によるフラグメンテーション過程
• 26pA18p グラファイトのリチウムコンディショニングにおける水素リテンションの影響(プラズマ基礎/壁相互作用)
• 反応性プロセシングプラズマにおける電子密度測定用平板型マイクロ波共振器プローブとシース効果
• Co/Cu及びPt/Co多層膜における構造と磁気特性のスパッタガス依存性
• Co/Cu及びPt/Co多層膜における構造と磁気特性のスパッタガス依存性(磁気記録とその展開)
• マグネトロンスパッタリングにおける高エネルギー粒子の発生過程と計測
• Wall Heating Effect on Crystallization of Low-Temperature Deposited Silicon Films from an Inductuvely-Coupled Plasma
• Lower Temperature Deposition of Polycrystalline Silicon Films from a Modified Inductively Coupled Silane Plasma
• LOW-TEMPERATURE FORMATION OF poly-Si FILMS BY INDUCTIVELY-COUPLED SILANE PLASMA
• プラズマ対向壁のリチウムコンディショニング実験
• 4 プロセスプラズマの計測(シンポジウムVII : 慣性核融合炉実現の条件と課題)
• Dramatic Improvement of Surface Wave Plasma Performance Using a Corrugated Dielectric Plate : Nuclear Science, Plasmas, and Electric Discharges
• 4. 電子エネルギー分布関数とラジカル組成 (電子エネルギー分布関数とプラズマプロセス)
• プロセス用プラズマにおける励起周波数の効果
• 単純トーラス
• 材料プロセス用プラズマ技術の動向と課題(シンポジウムI : プラズマ応用技術のフロンティア)
• Dependence of Fluorocarbon Plasma Chemistry on the Electron Energy Distribution Function
• リチウムコンディショニングによるグラファイトからの炭素スパッタの抑制
• リチウムコンディショニングによる炭素不純物の抑制機構
• リチウムを用いた核融合第一壁コンディショニングの基礎研究
• プラズマプロセスおよびPSIにおける水素の制御 : シンポジウム報告
• 電子衝突によるC_4F_8の解離断面積の測定
• Test-Wave Measurements of Microwave Absorption Efficiency in a Planar Surface-Wave Plasma Reactor
• Production of Low-Pressure Planar Non-Magnetized Plasmas Sustained under a Dielectric-Free Metal-Plasma Interface
• Production and Control of Low-Pressure Ar and CF_4 Plasmas Using Surface Waves
• 27aC14P Ar/SF_6プラズマの平板プローブ測定におけるエッジ効果による正イオン電流補正(プラズマ基礎・応用)
• プラズマ中での高エネルギー電子ビームの発生と In-situ 表面モニタリングへの応用
• 1. はじめに (電子エネルギー分布関数とプラズマプロセス)
• 周波数シフトプローブを用いた電子状態のモニタリング
• Characteristics of Ultrahigh-Frequency Surface-Wave Plasmas Excited at 915 MHz
• はじめに(プロセス用の新しい高密度プラズマの生成と診断I)
• プラズマ環境下にある窒化ガリウム膜のフォトルミネッセンス観測
• 電子状態モニタ用マイクロ波共振器プローブの小型化

もっと見る 閉じる

スポンサーリンク