Co/Cu及びPt/Co多層膜における構造と磁気特性のスパッタガス依存性(磁気記録とその展開)
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概要
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Co/Cu及びCo/Pt多層膜をAr,Kr,Xeの3種類のスパッタガスを用いて成膜し,その構造と磁気特性を調べた.その結果,Arに対して,Kr,Xe,の方が,界面/表面の平坦性は劣化するが,界面における原子のミキシングは抑制されること,また,Co/Cuの磁気抵抗効果及びCo/Ptの垂直磁気異方性が向上することが分かった.これは,基板に入射する反跳粒子のエネルギーがArよりKe,Xeで低くなることに対応している.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2007-03-02
著者
-
加藤 剛志
名古屋大学大学院工学研究科
-
岩田 聡
名古屋大学大学院工学研究科
-
綱島 滋
名古屋大学大学院工学研究科
-
菅井 秀郎
中部大学工学部
-
菅井 秀郎
中部大学大学院工学研究科
-
菅井 秀郎
名古屋大学工学部
-
豊田 浩孝
名古屋大学
-
綱島 滋
名古屋大学
-
菅井 秀郎
名古屋大学大学院工学研究科
-
Tsunashima Shigeru
Department Of Electrical Engineering Faculty Of Engineering Nagoya University
-
豊田 浩孝
名古屋大学大学院工学研究科電気工学専攻
-
豊田 浩孝
名大
-
Sugai Hideo
Department Of Electrical Engineering School Of Engineering Nagoya Univeristy
-
菅井 秀郎
名古屋大
-
Sugai Hideo
Department Of Electrical Engineering Graduate School Of Engineering Nagoya University
-
Sugai Hideo
Nagoya University
-
菅井 秀郎
名古屋大学大学院
-
鈴木 勇佑
名古屋大学大学院工学研究科
-
前田 幸春
名古屋大学大学院工学研究科
-
坂下 洋平
名古屋大学大学院工学研究科
-
陳 長川
名古屋大学大学院工学研究科
-
菅井 秀郎
中部大学工学部電気システム工学科
-
加藤 剛志
名古屋大学
-
菅井 秀郎
中部大学
-
岩田 聡
名古屋大学 工
-
綱島 滋
名古屋産業科学研究所研究部
-
岩田 聡
名古屋大学
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