Sugai Hideo | Department Of Electrical Engineering Graduate School Of Engineering Nagoya University

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概要

• 同名の論文著者
• Department Of Electrical Engineering Graduate School Of Engineering Nagoya Universityの論文著者

関連著者

• Sugai Hideo

  Department Of Electrical Engineering Graduate School Of Engineering Nagoya University

• 菅井 秀郎

  名古屋大

• Sugai Hideo

  Nagoya University

• 菅井 秀郎

  中部大学大学院工学研究科

• Sugai Hideo

  Department Of Electrical Engineering School Of Engineering Nagoya Univeristy

• 菅井 秀郎

  中部大学工学部電気システム工学科

• 菅井 秀郎

  中部大学

• 菅井 秀郎

  中部大学工学部

• 菅井 秀郎

  名古屋大学大学院工学研究科

• 菅井 秀郎

  名古屋大学大学院

• 菅井 秀郎

  名古屋大学工学部

• 豊田 浩孝

  名古屋大学

• 豊田 浩孝

  名古屋大学大学院工学研究科電気工学専攻

• 豊田 浩孝

  名大

• 中村 圭二

  中部大学

• 中村 圭二

  中部大学工学部電気システム工学科

• 中村 圭二

  中部大学工学部

• 菅井 秀郎

  名大工

• 張 祺

  中部大学工学部電気システム工学科

• 豊田 浩孝

  名大工

• 菅井 秀郎

  名大院工

• 坂下 洋平

  名古屋大学大学院工学研究科

• 張 祺

  中部大学

• 安藤 正樹

  名古屋大学大学院工学研究科電気工学専攻

• 石島 達夫

  名古屋大学

• Sugai Hideo

  Department of Electrical Engineering, Nagoya University

• Sugai Hideo

  Department O Electrical Engineering Nagoya University

• 加藤 剛志

  名古屋大学大学院工学研究科

• 岩田 聡

  名古屋大学大学院工学研究科

• 綱島 滋

  名古屋大学大学院工学研究科

• 綱島 滋

  名古屋大学

• Tsunashima Shigeru

  Department Of Electrical Engineering Faculty Of Engineering Nagoya University

• 鈴木 勇佑

  名古屋大学大学院工学研究科

• 前田 幸春

  名古屋大学大学院工学研究科

• 陳 長川

  名古屋大学大学院工学研究科

• 八木 博之

  名大工

• 加藤 剛志

  名古屋大学

• 岩田 聡

  名古屋大学 工

• 綱島 滋

  名古屋産業科学研究所研究部

• 中野 由崇

  中部大学

• 岩田 聡

  名古屋大学

• 高井 治

  名古屋大学大学院工学研究科

• 斎藤 芳男

  高エ研

• Kojima Tetsuya

  Department Of Computer Science Tokyo National College Of Technology

• Kojima Tetsuya

  Department Of Biophysics And Biochemistry Graduate School Of Science University Of Tokyo

• Kojima Tetsuya

  Department Of Electrical Engineering School Of Engineering Nagoya Univeristy

• 高井 治

  名古屋大 大学院工学研究科

• 高井 治

  名古屋大学

• 原田 亮

  中部大学

• 朝日 一

  大阪大学 産業科学研究所

• 朝日 一

  阪大産研

• 田沼 繁夫

  物質・材料研究機構分析支援ステーション

• 朝日 一

  大阪大学産業科学研究所

• 森田 清三

  大阪大学大学院工学研究科

• 吉田 豊信

  東京大学大学院工学系研究科

• 塚田 捷

  早稲田大学大学院理工学研究科

• 齊藤 芳男

  高エネルギー加速器研究機構加速器研究施設

• 森田 健治

  名古屋大学院工学研究科

• 石川 喬介

  名古屋大学

• 笹井 建典

  東海ゴム工業

• 塚田 捷

  東京大学大学院理学系研究科・理学部

• 安藤 正樹

  名大工

• 中村 圭二

  中大工

• 糟谷 憲昭

  中部大学

• 米田 慎一

  名古屋大学大学院工学研究科

• Kokura Hikaru

  Department of Electrical Engineering, Nagoya University

• 塚田 捷

  東北大学原子分子材料科学高等研究機構

• 塚田 捷

  東京大学理学部

• 永津 雅章

  静岡大学創造科学技術大学院

• 田沼 繁夫

  独立行政法人物質・材料研究機構 ナノ計測センター先端表面化学分析グループ

• 坂下 洋平

  名大工

• Toyoda Haruhisa

  Department Of Material Physics Faculty Of Engineering Science Osaka University

• Nishitani M

  Matsushita Electric Ind. Co. Ltd. Kyoto Jpn

• Nishitani M

  Matsushita Electric Industrial Co. Moriguchi Jpn

• Nishitani Mikihiko

  Central Research Laboratories Matsushita Electric Industrial Co. Ltd.

• Nishitani Mikihiko

  Matsushita Electric Industrial Co. Ltd. Osaka Jpn

• Nishitani Mikihiko

  Central Research Laboratories Matsushita Electric Ind. Co. Ltd.

• 的場 久幸

  名古屋大学

• 山崎 智雄

  名古屋大学

• 佐野 徹

  名大院工

• 永津 雅章

  名大院工

• 牧野 雅哉

  名大院工

• 高田 昇治

  名大院工

• 斎藤 芳男

  高エネルギー加速器研究機構

• 伊藤 典和

  名古屋大学工学研究科

• 柏原 淳司

  名古屋大学工学研究科

• Morita S

  Faculty Of Engineering Osaka University

• Morita S

  Osaka Univ. Osaka

• 吉田 豊信

  東京大学工学部

• Toyoda H

  Department Of Electrical Engineering School Of Engineering Nagoya Univeristy

• Toyoda H

  Nagoya Univ. Nagoya Jpn

• 塚田 捷

  早稲田大学大学院理工学研究科ナノ理工学専攻

• Toyoda Hirotaka

  Department Of Electrical Engineering Nagoya University

• 田沼 繁夫

  独立行政法人物質・材料研究機構

• Sugai Hideo

  Department Of Electrical Engineering Faculty Of Engineering Nagoya University

• Goto M

  Matsushita Electric Industrial Co.

• 齋藤 芳男

  高エネルギー加速器研究機構

• 塚田 捷

  東京大学理学部物理学科

• 森田 健治

  名古屋大学 工

• 高井 治

  名古屋大学エコトピア科学研究所・大学院工学研究科

• 齊藤 芳男

  大学共同利用法人・高エネルギー加速器研究機構・加速器研究施設

• OHISHI Akihiro

  Department of Electrical Engineering, School of Engineering, Nagoya Univeristy

• GOTO Masashi

  Matsushita Electric Industrial Co.

• Nagatsu Masaaki

  Department Of Electrical Engineering Graduate School Of Engineering Nagoya University

• Nagatsu Masaaki

  Department Of Electrical Engineering Nagoya University

• ABDEL-FATTAH Essam

  Department of Electrical Engineering, Graduate School of Engineering, Nagoya University

• YAMAUCHI Takeshi

  Corporate Manufacturing Engineering Center, TOSHIBA Corporation

• 吉田 豊信

  東大・工

• 松井 洋樹

  名大工

• 村上 勇夫

  名古屋大学工学研究科

• 宗宮 暁

  名古屋大学工学研究科

• 八木 博之

  名古屋大学工学研究科

• Morita Shigenori

  Department Of Electronic Engineering Osaka University

• Yamauchi Takeshi

  Corporate Manufacturing Engineering Center Toshiba Corporation

• Tsukada Mineharu

  Fujitsu Laboratories Inorganic Materials & Polymers Laboratory

• Nishitani Mikihiko

  Matsushita Electric Industrial Co.

• 伊藤 典和

  東京藝術大学大学院美術研究科先端芸術表現専攻

• Toyoda Hirotaka

  Department Of Electrical Engineering And Computer Science Nagoya University

• 塚田 捷

  早稲田大学大学院

• 永津 雅章

  静岡大 創造科学技術大学院

• Mishima Syuzo

  Research Department Olympus Optical Co. Ltd.

• 田沼 繁夫

  物質・材料研究機構ナノ計測センター

• Kokura Hikaru

  Department Of Electrical Engineering Nagoya University

• Ohishi A

  Japan Advanced Inst. Of Sci. And Technol. Tatsunokuchi Jpn

• Kojima T

  Department Of Electrical Engineering School Of Engineering Nagoya Univeristy

• 吉田 豊信

  東京大学

• スタマテ ユウゲン

  名古屋大学工学研究科

• 村田 拓馬

  名古屋大学工学研究科

• Morita Seizo

  Graduate School Of Engineering Osaka University

• 吉田 豊信

  東京大学大学院工学系研究科マテリアル工学専攻

• 吉田 豊信

  東京大学工学部金属工学科

• 吉田 豊信

  東京大学工学部マテリアル工学科

• Ohishi Akihiro

  Department Of Electrical Engineering School Of Engineering Nagoya Univeristy

• 伊藤 慎祥

  中部大学

• 高 軍思

  中部大学

• 吉田 豊信

  東京大学大学院工学系研究科金属工学専攻

• Abdel-fattah Essam

  Department Of Electrical Engineering Nagoya University

• 金 徐州

  中部大学

• 田沼 繁夫

  物質・材料研究機構

• 齊藤 芳男

  高エネルギー加速器研究機構

• CHEN M.

  中部大学

• 熊崎 恵未

  中部大学

• 塚田 捷

  早稲田大学理工学術院

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著作論文

• 周波数シフトプローブを用いたプラズマ計測
• IUVSTA Scientific and Technical Divisions (STD) の報告
• マイクロ波励起高密度プラズマを用いたPTFEフィルムの表面改質
• 周波数シフトプローブにおける膜堆積の影響
• 周波数シフトプローブの電子温度計測への応用
• 周波数シフトプローブを用いた電子密度測定におけるプローブ形状の影響
• デュアル表面波プローブを用いた電子密度・電子温度の計測
• プラズマイオン注入における平板ターゲットの二次電子放出率の計測
• 29pA10P プラズマからの真空紫外光とプラズマイオン注入における二次電子放出係数(プラズマ基礎・応用)
• 半導体検出器を用いたプラズマイオン注入における二次電子計測
• 27aA04 プラズマ吸収プローブを用いた有磁場プラズマの密度測定(プラズマ基礎・応用)
• 高周波バイアスを用いた高密度プラズマエッチャー内壁における膜堆積抑制
• 23aB35P リチウムコンディショニングによるグラファイトの水素リテンション抑制効果の基礎実験(真空・第一壁・材料, (社) プラズマ・核融合学会第21回年会)
• ジャイアントプラズマプロセス : 低圧から大気圧プロセスまで
• TK06 新しいプラズマ基礎技術の開発研究(プラズマ応用における最近の進展, (社) プラズマ・核融合学会第21回年会)
• 2 プラズマ材料プロセスにおける壁の影響と制御(シンポジウムXI : 低温プラズマと壁)
• シンポジウム : 中部地区若手・中堅研究者の挑戦
• 29pA17P シリコン酸化用表面波プラズマの特性と酸素ラジカル制御(プラズマ基礎・応用)
• 29pA16 マイクロ波スロット励起プラズマの高効率化・高圧力化(プラズマ基礎・応用)
• プラズマ吸収プローブによるプロセスプラズマの電子密度測定
• 29pA32P 表面波プラズマを用いたDLC膜の低温形成とその電界電子放出特性(プラズマ壁相互作用・材料/電源・マグネット)
• 25aB04 リチウムコーティングによるグラファイトの水素リテンション抑制の検討(真空・第一壁・材料)
• 26aB07P リチウムコンディショニングを用いたグラファイトの化学スパッタリングの抑制過程(真空・第一壁・材料)
• 29pA11P グラファイト損耗のリチウムによる抑制効果の壁温依存性(加熱/炉設計)
• 28aB04 グラファイト損耗のリチウムによる抑制機構(プラズマ壁相互作用・材料)
• 反応性プロセシングプラズマにおける電子密度測定用平板型マイクロ波共振器プローブとシース効果
• 反応性プロセシングプラズマにおける電子密度測定用平板型マイクロ波共振器プローブとシース効果
• Co/Cu及びPt/Co多層膜における構造と磁気特性のスパッタガス依存性
• Co/Cu及びPt/Co多層膜における構造と磁気特性のスパッタガス依存性(磁気記録とその展開)
• マグネトロンスパッタリングにおける高エネルギー粒子の発生過程と計測
• Wall Heating Effect on Crystallization of Low-Temperature Deposited Silicon Films from an Inductuvely-Coupled Plasma
• 4 プロセスプラズマの計測(シンポジウムVII : 慣性核融合炉実現の条件と課題)
• Dramatic Improvement of Surface Wave Plasma Performance Using a Corrugated Dielectric Plate : Nuclear Science, Plasmas, and Electric Discharges
• 4. 電子エネルギー分布関数とラジカル組成 (電子エネルギー分布関数とプラズマプロセス)
• プロセス用プラズマにおける励起周波数の効果
• 単純トーラス
• 材料プロセス用プラズマ技術の動向と課題(シンポジウムI : プラズマ応用技術のフロンティア)
• Dependence of Fluorocarbon Plasma Chemistry on the Electron Energy Distribution Function
• Joint Conference of 5^(th) International Conference on Reactive Plasmas and 16^(th) Europhysics Conference on Atomic and Molecular Physics of Ionized Gases
• 27aC15P 質量分析計を用いる電離断面積測定におけるイオンレンズ系透過効率の影響(プラズマ基礎・応用)
• 27aC13P SiおよびSiO_2へのフロロカーボンラジカルビーム照射による表面反応観測(プラズマ基礎・応用)
• 26aB03 表面波励起H_2/SiH_4プラズマによる高速・大面積シリコン薄膜形成(プラズマ基礎・応用I)
• 2 SiおよびSiO_2エッチングにおける表面反応のビーム実験(プラズマの基礎・応用研究最前線(中部地区若手・中堅研究者の挑戦))
• 第5回反応性プラズマ国際会議および第16回電離気体の原子分子物理ヨーロッパ会議の合同会議
• 27aC14P Ar/SF_6プラズマの平板プローブ測定におけるエッジ効果による正イオン電流補正(プラズマ基礎・応用)
• プラズマ中での高エネルギー電子ビームの発生と In-situ 表面モニタリングへの応用
• 1. はじめに (電子エネルギー分布関数とプラズマプロセス)
• 周波数シフトプローブを用いた電子状態のモニタリング
• プラズマ環境下にある窒化ガリウム膜のフォトルミネッセンス観測
• 電子状態モニタ用マイクロ波共振器プローブの小型化

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