27aC14P Ar/SF_6プラズマの平板プローブ測定におけるエッジ効果による正イオン電流補正(プラズマ基礎・応用)
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概要
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- 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
- 2002-11-20
著者
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菅井 秀郎
中部大学大学院工学研究科
-
菅井 秀郎
名古屋大学工学部
-
Sugai Hideo
Department Of Electrical Engineering School Of Engineering Nagoya Univeristy
-
菅井 秀郎
名古屋大
-
Sugai Hideo
Department Of Electrical Engineering Graduate School Of Engineering Nagoya University
-
Sugai Hideo
Nagoya University
-
菅井 秀郎
名古屋大学大学院
-
菅井 秀郎
中部大学工学部電気システム工学科
-
菅井 秀郎
中部大学
-
スタマテ ユウゲン
名古屋大学工学研究科
-
村田 拓馬
名古屋大学工学研究科
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