新エッチングガスC_3HF_7Oの電子衝突断面積の測定

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概要

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• 1997-11-18

著者

• 菅井 秀郎

  中部大学工学部

• 菅井 秀郎

  名古屋大学工学部

• 豊田 浩孝

  名古屋大学

• 中村 守孝

  富士通

• 菅井 秀郎

  名古屋大学大学院工学研究科

• 菅井 秀郎

  名古屋大学大学院

• 田中 秀幸

  名古屋大学

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