13p-DG-6 誘導RF放電による非磁化プラズマ生成

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1993-09-20

著者

• 菅井 秀郎

  中部大学工学部

• 菅井 秀郎

  名古屋大学工学部

• 中村 圭二

  名古屋大学工学部電気工学教室

• 中村 圭二

  中部大学工学部電気システム工学科

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