6. 表面波プラズマ大口径化(<小特集>表面波励起プラズマの生成とその応用)
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概要
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Methods of production of large-area planar plasma based on surface wave propagation under no magnetic field are generally discussed. Recent experiment on microwave discharge revealed that a slot antenna is a simple and useful launcher of microwaves for enlarging and stabilizing a planar plasma. Standing surface waves excited on a plasma-dielectric interface are clearly observed in the optical emission and microwave field intensity measurements. The observed mode structure is supported by wave analysis with a one-interface model.
- 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
- 1996-07-25
著者
-
菅井 秀郎
中部大学工学部
-
菅井 秀郎
名古屋大学工学部
-
永津 雅章
静岡大学創造科学技術大学院
-
永津 雅章
名古屋大学
-
Sugai Hideo
Department Of Electrical Engineering School Of Engineering Nagoya Univeristy
-
菅井 秀郎
名古屋大学大学院
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