6. 表面波プラズマ : プロセス用の新しい高密度プラズマの生成と診断 VI
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概要
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The characteristics of large-area planar surface wave plasma(SWP)have been extensively investigated with the aim of applying them to plasma processing, such as ashing, etching, CVD, etc. In this study, various types of production schemes for planar SWPs are reviewed, and recent experimental results with slot-antenna excitation are presented. Theoretical dispersion relation of SW excited under the planar cylindrical configuration analysed using a two-interface model is given to explain the observed mode jump in the SWP. Time- and space-resolved measurements of plasma parameters and electric field intensity are carried out to clarify the energy absorption mechanism in the SWP. Lastly, various applications of SWPs to material processing are briefly presented.
- 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
- 1998-05-25
著者
-
菅井 秀郎
中部大学工学部
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菅井 秀郎
名古屋大学工学部
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永津 雅章
静岡大学創造科学技術大学院
-
永津 雅章
名古屋大学
-
Sugai Hideo
Department Of Electrical Engineering School Of Engineering Nagoya Univeristy
-
菅井 秀郎
名古屋大
-
菅井 秀郎
名古屋大学大学院
-
菅井 秀郎
中部大学工学部電気システム工学科
-
Nagatsu Masaaki
Department Of Electrical Engineering Graduate School Of Engineering Nagoya University
-
Nagatsu Masaaki
Department Of Electrical Engineering Nagoya University
-
菅井 秀郎
中部大学
-
永津 雅章
静岡大 創造科学技術大学院
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