3. マイクロ波プラズマ生成における凹凸界面の効果(<小特集>プラズマと電磁波の相互作用の新規応用 : 空間的・時間的デザインが拓く新機能)
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概要
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無磁場におけるマイクロ波放電を用いると大面積・高密度プラズマを容易に生成できることから,その材料プロセス用への応用が脚光を浴びている.このプラズマは,誘電体とプラズマが接する界面に沿う表面波の励起・伝搬・吸収によって維持されている.通常,この界面は滑らかな平面であるが,凹凸形状(周期的みぞ)を設けたり,多数の穴(ホロー)を設けたりすると,放電の開始・維持が容易になり,プラズマの密度分布が平坦化されるなどの好ましい効果が現れることが最近見出された.本稿ではその実験結果と物理機構の研究を紹介する.
- 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
- 2008-04-25
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