8.大面積プラズマCVDプロセスの開発最前線(<小特集>次世代シリコン太陽電池製造のためのプラズマ技術)
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概要
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シリコン薄膜太陽電池の生産性向上のためには,微結晶シリコン膜の大面積(>4m^2)・高速堆積(>2.5nm/s)技術の開発が不可欠である.そのプラズマCVD技術の研究開発の現状について,プラズマの大面積化・高密度化および光電変換効率向上の観点から,RFプラズマCVDとマイクロ波プラズマCVDを対比させて概観し,今後の課題について述べる.
- 2010-01-25
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