誘導結合型シランプラズマを用いた水素化アモルファスシリコン膜の生成
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概要
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- 1996-05-10
著者
-
菅井 秀郎
中部大学工学部
-
後藤 真志
松下電器産業(株)ディスプレイデバイス開発センター
-
平尾 孝
(株)松下テクノリサーチ
-
菅井 秀郎
名古屋大学工学部
-
豊田 浩孝
名古屋大学
-
北川 雅俊
松下電器産業
-
後藤 真志
名古屋大学
-
北川 雅俊
松下中研
-
平尾 孝
松下テクノリサーチ
-
Sugai Hideo
Department Of Electrical Engineering School Of Engineering Nagoya Univeristy
-
菅井 秀郎
名古屋大学大学院
-
北川 雅俊
松下電器産業(株)中央研究所
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