北川 雅俊 | 松下電器産業(株)中央研究所
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概要
関連著者
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北川 雅俊
松下電器産業
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北川 雅俊
松下電器産業(株)中央研究所
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平尾 孝
(株)松下テクノリサーチ
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菅井 秀郎
中部大学工学部
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後藤 真志
松下電器産業(株)ディスプレイデバイス開発センター
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菅井 秀郎
名古屋大学工学部
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豊田 浩孝
名古屋大学
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Sugai Hideo
Department Of Electrical Engineering School Of Engineering Nagoya Univeristy
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平尾 孝
松下電器産業(株)中央研究所
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平尾 孝
松下電器産業 中研
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三戸 美生
松下産業機器
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松下電子部品(株)開発技術センター材料開発研究所
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是近 哲広
松下電子部品(株)開発技術センター材料開発研究所
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後藤 真志
名古屋大学
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平尾 孝
松下テクノリサーチ
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安野 僖剛
松下産業機器
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菅井 秀郎
名古屋大
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倉増 敬三郎
松下電子部品
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安野 僖剛
松下産業機器松下電器(株)電子機器事業部
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松下電器
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松下電子工業(株)電子総合研究所
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山添 博司
松下電器産業(株)無線研究所
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松下電器産業(株)中央研究所
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國久 武人
松下電器産業株式会社半導体研究センター
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西辻 充
松下電器産業半導体研究センター
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松下電器産業(株)ディスプレイデバイス開発センター
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松下電器産業
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名古屋大
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松下電器産業半導体研究センター
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松下電器産業(株)中央研究所
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菅井 秀郎
中部大学工学部電気システム工学科
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八幡 和宏
松下電器産業(株)半導体社半導体デバイス研究センター
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山添 博司
松下電器産業
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國久 武人
松下電子工業
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菅井 秀郎
中部大学
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澁谷 宗裕
松下電器産業
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坂口 誠一郎
松下電子部品(株)開発技術センター
著作論文
- 誘導結合SiH_4放電によるシリコン薄膜の低温結晶化
- RFプラズマCVDにより作製したSiO_xN_y膜の機械的特性
- 誘導結合型シランプラズマを用いた水素化アモルファスシリコン膜の生成
- 紫外透過分光法によるSiH_4プラズマのモニタリング
- 低温スパッタリング法による高誘電体SrTiO_3薄膜容量素子のGaAs-ICプロセスへの適用
- SiN/a-Si:H2層構造プレ-ナ形光センサ素子
- 3)a-SiC/c-Siヘテロ接合ダイオードを用いた放射線検出器(テレビジョン電子装置研究会)
- a-SiC/C-Siヘテロ接合ダイオードを用いた放射線検出器 : 電子装置
- プラズマCVDにより作製したSi-B-N膜の電気的, 機械的特性