田村 彰良 | 松下電器産業半導体研究センター

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概要

• 同名の論文著者
• 松下電器産業半導体研究センターの論文著者

関連著者

• 平尾 孝

  (株)松下テクノリサーチ

• 田村 彰良

  松下電子工業(株)電子総合研究所

• 國久 武人

  松下電器産業株式会社半導体研究センター

• 西辻 充

  松下電器産業半導体研究センター

• 平尾 孝

  松下電器産業(株)中央研究所

• 北川 雅俊

  松下電器産業

• 平尾 孝

  松下電器産業 中研

• 田村 彰良

  松下電器産業半導体研究センター

• 八幡 和宏

  松下電器産業半導体研究センター

• 澁谷 宗裕

  松下電器産業中央研究所

• 八幡 和宏

  松下電器産業(株)半導体社半導体デバイス研究センター

• 國久 武人

  松下電子工業

• 北川 雅俊

  松下電器産業(株)中央研究所

• 澁谷 宗裕

  松下電器産業

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著作論文

• 低温スパッタリング法による高誘電体SrTiO_3薄膜容量素子のGaAs-ICプロセスへの適用

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