SiN/a-Si:H2層構造プレ-ナ形光センサ素子

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概要

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• 電子情報通信学会エレクトロニクスソサイエティの論文

著者

• 平尾 孝

  (株)松下テクノリサーチ

• 北川 雅俊

  松下電器産業

• 北川 雅俊

  松下電器産業(株)中央研究所

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