菅井 秀郎 | 名古屋大学大学院

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概要

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• 名古屋大学大学院の論文著者

関連著者

• 菅井 秀郎

  名古屋大学大学院

• 菅井 秀郎

  名古屋大学工学部

• 菅井 秀郎

  中部大学工学部

• Sugai Hideo

  Department Of Electrical Engineering School Of Engineering Nagoya Univeristy

• 菅井 秀郎

  名古屋大

• 菅井 秀郎

  中部大学工学部電気システム工学科

• 菅井 秀郎

  中部大学

• 豊田 浩孝

  名古屋大学

• Sugai Hideo

  Department Of Electrical Engineering Graduate School Of Engineering Nagoya University

• Sugai Hideo

  Nagoya University

• 菅井 秀郎

  中部大学大学院工学研究科

• 菅井 秀郎

  名古屋大学大学院工学研究科

• 豊田 浩孝

  名古屋大学大学院工学研究科電気工学専攻

• 豊田 浩孝

  名大

• 中村 圭二

  中部大学工学部電気システム工学科

• 中村 圭二

  中部大学工学部

• 坂下 洋平

  名古屋大学大学院工学研究科

• 中村 圭二

  中部大学

• 中村 圭二

  名古屋大学工学部電気工学教室

• 小倉 輝

  名古屋大学

• 近藤 克己

  京都大学エネルギー科学研究科

• 佐野 史道

  京大エネ理工研

• 加藤 剛志

  名古屋大学大学院工学研究科

• 岩田 聡

  名古屋大学大学院工学研究科

• 綱島 滋

  名古屋大学大学院工学研究科

• 藤井 壽崇

  豊橋技術科学大学

• 水内 亨

  京都大学エネルギー理工学研究所

• 佐野 史道

  京都大学エネルギー理工学研究所

• 大引 得弘

  京都大学エネルギー理工学研究所

• 森田 健治

  名古屋大学院工学研究科

• 石島 達夫

  名古屋大学

• 佐藤 正典

  本多電子株式会社

• 綱島 滋

  名古屋大学

• 大脇 政典

  名古屋大学大学院

• 中村 守孝

  富士通

• 永津 雅章

  静岡大学創造科学技術大学院

• 佐藤 正典

  本多電子(株)

• 永津 雅章

  名古屋大学

• 伊藤 典和

  名古屋大学工学研究科

• 佐野 史道

  京都大学へリオトロン

• 近藤 克己

  京都大学へリオトロン

• 水内 亨

  京都大学へリオトロン

• 大引 得弘

  京都大学へリオトロン

• Tsunashima Shigeru

  Department Of Electrical Engineering Faculty Of Engineering Nagoya University

• 佐藤 正典

  本多電子(株)研究部

• 奥田 孝美

  名古屋大学

• 森田 健治

  名古屋大学 工

• 鈴木 勇佑

  名古屋大学大学院工学研究科

• 前田 幸春

  名古屋大学大学院工学研究科

• 陳 長川

  名古屋大学大学院工学研究科

• 石井 昌司

  名古屋大学

• 石井 昌司

  名大工

• 伊藤 典和

  東京藝術大学大学院美術研究科先端芸術表現専攻

• 加藤 剛志

  名古屋大学

• 岩田 聡

  名古屋大学 工

• 綱島 滋

  名古屋産業科学研究所研究部

• 岩田 聡

  名古屋大学

• 吉田 慎司

  名古屋大学工学部

• 岡村 昇一

  核融合科学研究所

• 居田 克巳

  核融合科学研究所

• 岡田 浩之

  京大エネ理工研

• 須藤 滋

  核融合科学研究所

• 野田 信明

  核融合科学研究所

• 佐藤 元泰

  核融合科学研究所

• 佐藤 正典

  本多電子

• 花谷 清

  京大エネ研

• 坂本 欣三

  京大エネ理工研

• 井尻 芳行

  Graduate School of Energy Science, Kyoto University

• 東使 潔

  京都大学エネルギー理工学研究所

• 鈴木 啓之

  名古屋大学大学院情報科学研究科

• 安藤 正樹

  名古屋大学大学院工学研究科電気工学専攻

• 木下 健史

  Institute Of Advanced Energy Kyoto University

• 佐藤 元泰

  京大ヘリオトロン

• 別生 栄

  京大ヘリオトロン

• 飯間 理史

  核融合研

• 東使 潔

  Institute Of Advanced Energy Kyoto University

• 後藤 真志

  松下電器産業(株)ディスプレイデバイス開発センター

• 門 真一郎

  東大高温プラズマセンター

• 門 信一郎

  東大高温プラズマセ

• 別生 栄

  Graduate School Of Energy Science Kyoto University

• 別生 栄

  京都大学ヘリオトロン核融合研究センター

• 花谷 清

  京都大学ヘリオトロン

• 武田 進

  名古屋大学工学部電気工学科

• 浜田 貴照

  京大工

• 平尾 孝

  (株)松下テクノリサーチ

• 東 使潔

  京都大学エネルギー理工学研究所

• 秀熊 茂

  核融合研

• 野田 信明

  核融合研

• 佐藤 元泰

  核融合研

• 門 真一郎

  九大総理工

• 飯間 理史

  核科研

• 鈴木 紀生

  京大ヘリオトロン

• 鈴木 紀生

  京都大学ヘリオトロン核融合研究センター

• 近藤 克巳

  京都大学ヘリオトロン核融合研究センター

• 佐野 史道

  京都大学ヘリオトロン核融合研究センター

• 図子 秀樹

  京都大学ヘリオトロン核融合研究センター

• 水内 亨

  京都大学ヘリオトロン核融合研究センター

• 岡田 浩之

  京都大学ヘリオトロン核融合研究センター

• 長崎 百伸

  京都大学ヘリオトロン核融合研究センター

• 中須賀 正彦

  京都大学ヘリオトロン核融合研究センター

• 中村 祐司

  京都大学ヘリオトロン核融合研究センター

• Peterson B.J

  京都大学ヘリオトロン核融合研究センター

• 井尻 芳行

  京都大学ヘリオトロン核融合研究センター

• 飯間 理史

  京都大学ヘリオトロン核融合研究センター

• 千住 徹

  京都大学ヘリオトロン核融合研究センター

• 矢口 啓二

  京都大学ヘリオトロン核融合研究センター

• 小林 策治

  京都大学ヘリオトロン核融合研究センター

• 東使 潔

  京都大学ヘリオトロン核融合研究センター

• 坂本 欣三

  京都大学ヘリオトロン核融合研究センター

• 栗本 祐司

  京都大学ヘリオトロン核融合研究センター

• 舟場 久芳

  京都大学ヘリオトロン核融合研究センター

• 諌山 明彦

  京都大学ヘリオトロン核融合研究センター

• 浜田 貴照

  京都大学ヘリオトロン核融合研究センター

• 木下 健史

  京都大学ヘリオトロン核融合研究センター

• 若谷 誠宏

  京都大学ヘリオトロン核融合研究センター

• 大引 得弘

  京都大学ヘリオトロン核融合研究センター

• 山華 雅司

  名古屋大学工学部

• 赤石 憲也

  核融合科学研究所

• 秀熊 茂

  核融合科学研究所

• 門真 一郎

  九州大学総合理工学

• 村岡 克紀

  九州大学総合理工学

• 松尾 敬二

  福岡工業大学

• 諌山 明彦

  日本原子力研究開発機構

• 小林 策治

  京大エネ理工研

• 関根 誠

  名古屋大学

• 近藤 克巳

  京大エネ科

• 栗本 祐司

  京大工学部

• 糟谷 憲昭

  中部大学

• 米田 慎一

  名古屋大学大学院工学研究科

• 松永 大輔

  富士通

• 松本 直樹

  住友金属

• 小西 英介

  名古屋大学

• 関根 誠

  名大

• 木下 啓蔵

  NEC

• 諌山 明彦

  原子力機構

• 小川 雄一

  名古屋大学大学院工学研究科

• 的場 久幸

  名古屋大学

• 山崎 智雄

  名古屋大学

• 北川 雅俊

  松下電器産業

• 佐野 史道

  京大

• 矢口 啓二

  Institute Of Advanced Energy Kyoto University

• 飯間 理史

  National Institute For Fusion Science

• 岡崎 清比古

  理化学研究所

• 山科 俊郎

  北海道大学工学部

• 光岡 義仁

  名古屋大学工学部電気学科

• 広倉 覚

  名古屋大学プラズマ研究所

• 松尾 敬二

  福岡工業大

• 柏原 淳司

  名古屋大学工学研究科

• 雨宮 宏

  理化学研究所

• 佐藤 元泰

  核融合科研

• 後藤 真志

  名古屋大学

• 北川 雅俊

  松下中研

• 平尾 孝

  松下テクノリサーチ

• 井戸 一雄

  名大 工

• 細川 雅則

  名古屋大学

• 福手 隆仁

  名古屋大学

• 野田 周一

  超先端電子技術開発機構

• 彦坂 幸信

  超先端電子技術開発機構

• 木下 啓蔵

  超先端電子技術開発機構

• 関根 誠

  超先端電子技術開発機構

• Ghanashev Ivan

  名古屋大学大学院

• 中須 正彦

  京都大学エネルギー科学研究科

• 市原 勝太郎

  東芝研究開発センター

• 坂本 雄一

  理化学研究所

• Nagatsu Masaaki

  Department Of Electrical Engineering Graduate School Of Engineering Nagoya University

• Nagatsu Masaaki

  Department Of Electrical Engineering Nagoya University

• 石部 行雄

  理化学研究所

• 加藤 伸一

  名古屋大学大学院工学研究科

• 西村 和仁

  京都大学

• 水野 耕一

  名古屋大学大学院

• 西村 和仁

  京大エネ理工

• 田中 秀幸

  名古屋大学

• 安田 修朗

  東芝インテリジェントテクノロジ

• 村上 勇夫

  名古屋大学工学研究科

• 八木 博之

  名大工

• 宗宮 暁

  名古屋大学工学研究科

• 八木 博之

  名古屋大学工学研究科

• IHDE J

  FZ-Julich

• STORK H

  Ruhr-Univ Bochum

• PHILIPPS V

  FZ-Julich

• WINTER J

  Ruhr-Univ Bochum

• 永津 雅章

  静岡大 創造科学技術大学院

• 皆川 秀紀

  北海道大学工学部

• 北川 雅俊

  松下電器産業(株)中央研究所

• 鈴木 啓之

  名古屋大学

• スタマテ ユウゲン

  名古屋大学工学研究科

• 村田 拓馬

  名古屋大学工学研究科

• 堀 洋一郎

  名古屋大学プラズマ研究所

• 相良 明男

  名古屋大学プラズマ研究所

• 片寄 恭一

  名古屋大学工学部電気学科

• 井戸 一雄

  名古屋大学工学部

• 佐藤 正典

  名古屋大学工学部

• 五十棲 正

  富士通 (株)

• 小川 雄一

  名古屋大学プラズマ研究所

• 小島 啓明

  名古屋大学工学部

• 山科 俊郎

  北海道大学

• 菅井 秀郎

  名古屋大学工学部電気学科

• 武田 進

  名古屋大学・工学部

• 豊田 浩孝

  名古屋大学工学部電気学科

• 豊田 浩孝

  名古屋大学工学部

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著作論文

• 3a-T-1 ヘリオトロンEにおけるNBIプラズマの特性
• 半導体検出器を用いたプラズマイオン注入における二次電子計測
• 27aA04 プラズマ吸収プローブを用いた有磁場プラズマの密度測定(プラズマ基礎・応用)
• 高周波バイアスを用いた高密度プラズマエッチャー内壁における膜堆積抑制
• イオン衝撃による酸化膜エッチャーの壁制御
• 26aB6 新しい高周波バイアス法による壁制御とエッチングへの応用(ヘリカル/プラズマ応用)
• 表面波励起エッチャーにおけるプラズマ診断とラジカル組成
• アンテナの容量終端による誘導プラズマの高密度化
• 3. 誘導結合プラズマ : プロセス用の新しい高密度プラズマの生成と診断 III
• ジャイアントプラズマプロセス : 低圧から大気圧プロセスまで
• 29pA17P シリコン酸化用表面波プラズマの特性と酸素ラジカル制御(プラズマ基礎・応用)
• 29pA16 マイクロ波スロット励起プラズマの高効率化・高圧力化(プラズマ基礎・応用)
• プラズマ吸収プローブによるプロセスプラズマの電子密度測定
• 6. 表面波プラズマ : プロセス用の新しい高密度プラズマの生成と診断 VI
• 25aB04 リチウムコーティングによるグラファイトの水素リテンション抑制の検討(真空・第一壁・材料)
• 29pA11P グラファイト損耗のリチウムによる抑制効果の壁温依存性(加熱/炉設計)
• 28aB04 グラファイト損耗のリチウムによる抑制機構(プラズマ壁相互作用・材料)
• 誘導結合型シランプラズマを用いた水素化アモルファスシリコン膜の生成
• RFバイアス光プローブ法を用いた電子エネルギー分布関数の測定
• ECRボロナイゼーションの基礎実験
• ECRプラズマを用いた核融合炉壁コンディショニングの基礎実験
• Hamiltonian密度による音の放射圧と音響流の解析
• フォノンと流体力学による音響流解析の比較
• 26pA18p グラファイトのリチウムコンディショニングにおける水素リテンションの影響(プラズマ基礎/壁相互作用)
• Co/Cu及びPt/Co多層膜における構造と磁気特性のスパッタガス依存性
• Co/Cu及びPt/Co多層膜における構造と磁気特性のスパッタガス依存性(磁気記録とその展開)
• マグネトロンスパッタリングにおける高エネルギー粒子の発生過程と計測
• 4. 電子エネルギー分布関数とラジカル組成 (電子エネルギー分布関数とプラズマプロセス)
• プロセス用プラズマにおける励起周波数の効果
• 新しい電子密度測定法 : プラズマ吸収プローブの特性
• 2. 気相および表面におけるラジカル生成のビーム実験 : 材料プロセス用フルオロカーボンプラズマに関する基礎研究の進展
• リチウムコンディショニングによる炭素不純物の抑制機構
• プラズマプロセスおよびPSIにおける水素の制御 : シンポジウム報告
• 新エッチングガスC_3HF_7Oの電子衝突断面積の測定
• 1.はじめに : 負イオンを見直そう(負イオン特集)
• 6. 表面波プラズマ大口径化(表面波励起プラズマの生成とその応用)
• 1. 序文 : 温故知新(表面波プラズマの生成とその応用)
• 5. 誘導結合型プラズマ(ICP)によるエッチング (ドライエッチング用プラズマ)
• 音響直進流の解析と超高圧下での撹拌への応用
• イオン性ラジカルの選択抽出と表面過程
• Joint Conference of 5^(th) International Conference on Reactive Plasmas and 16^(th) Europhysics Conference on Atomic and Molecular Physics of Ionized Gases
• 27aC13P SiおよびSiO_2へのフロロカーボンラジカルビーム照射による表面反応観測(プラズマ基礎・応用)
• 26aB03 表面波励起H_2/SiH_4プラズマによる高速・大面積シリコン薄膜形成(プラズマ基礎・応用I)
• 26pB6 単純トロイダル磁場中のECHプラズマを用いた壁コンディショニング(計測/壁相互作用)
• 27aC14P Ar/SF_6プラズマの平板プローブ測定におけるエッジ効果による正イオン電流補正(プラズマ基礎・応用)
• ECRプラズマによる炭素コーティング膜の評価
• 1. はじめに (電子エネルギー分布関数とプラズマプロセス)
• 8. 硬質炭素薄膜の形成と応用
• 不純物輸送のRF制御
• プラズマイオン分析器の開発
• プラズマ界面における異常発光とフラグメンテーション
• 局在する高周波電場によるプラズマ加熱
• はじめに(プロセス用の新しい高密度プラズマの生成と診断I)
• リチウムによる低Zコ-ティングと水素挙動
• 反応性プラズマの特質と課題 (多様なプラズマ--概要と将来展望)
• カ-ボニゼ-ションにおける水素リサイクリングの抑制

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