中村 圭二 | 名古屋大学工学部電気工学教室
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概要
関連著者
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中村 圭二
名古屋大学工学部電気工学教室
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菅井 秀郎
名古屋大学工学部
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著作論文
- 表面波励起エッチャーにおけるプラズマ診断とラジカル組成
- アンテナの容量終端による誘導プラズマの高密度化
- 3. 誘導結合プラズマ : プロセス用の新しい高密度プラズマの生成と診断 III
- 13p-DG-6 誘導RF放電による非磁化プラズマ生成
- レーザーを利用した誘雷技術
- プラズマ計測用 TEA-CO_2 レーザの高出力化
- 30a-YE-6 フローティング型RFバイアスを用いた酸化膜エッチャーの壁制御
- 28p-YA-4 SWPを用いた酸化膜エッチングII : 活性種の組成
- 28p-YA-3 SWPを用いた酸化膜エッチングI : 表面波プラズマ生成
- 30p-YE-13 リング型励起SWPのラジカル計測
- クラック入り電力用がいしのレーザ光による遠隔検査法の検討