中村 守孝 | 富士通

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概要

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• 富士通の論文著者

関連著者

• 中村 守孝

  富士通

• 菅井 秀郎

  名古屋大学工学部

• 中村 圭二

  名古屋大学工学部電気工学教室

• 小倉 輝

  名古屋大学

• 菅井 秀郎

  中部大学工学部

• 米田 慎一

  名古屋大学大学院工学研究科

• 松尾 二郎

  富士通研究所

• 菅井 秀郎

  名古屋大学大学院

• 松本 直樹

  住友金属工業

• 豊田 浩孝

  名古屋大学

• 松尾 二郎

  京都大学 大学院工学研究科 附属量子理工学教育研究センター

• 松永 大輔

  富士通

• 松本 直樹

  住友金属

• 菅井 秀郎

  名古屋大学大学院工学研究科

• 松尾 二郎

  京都大学大学院工学研究科附属量子理工学研究実験センター

• 小尻 英博

  富士通

• Sugai Hideo

  Department Of Electrical Engineering School Of Engineering Nagoya Univeristy

• 菅井 秀郎

  名古屋大

• GHANASHEV I.

  名古屋大学工学部

• 中村 圭二

  中部大学工学部電気システム工学科

• 菅井 秀郎

  中部大学工学部電気システム工学科

• 大塚 健一

  富士通

• 唐橋 一浩

  富士通研究所

• Sawin H.H.

  マサチューセッツ工科大学

• 渡辺 孝二

  富士通

• 田中 秀幸

  名古屋大学

• 菅井 秀郎

  中部大学

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著作論文

• 表面波励起エッチャーにおけるプラズマ診断とラジカル組成
• 28p-YA-4 SWPを用いた酸化膜エッチングII : 活性種の組成
• 28p-YA-3 SWPを用いた酸化膜エッチングI : 表面波プラズマ生成
• レーザ誘起昇温脱離法(LITD)によるプラズマエッチング中の試料表面の評価
• TDSを用いたO_2+H_2Oダウンフローのコロージョン抑制機構の検討
• 新エッチングガスC_3HF_7Oの電子衝突断面積の測定
• ビーム応用
• ビーム応用
• ドライエッチング技術 (ハ-フミクロン以降の超LSIプロセス材料とその関連プロセス)

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