菅井 秀郎 | 名古屋大学大学院工学研究科
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概要
関連著者
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菅井 秀郎
名古屋大学大学院工学研究科
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菅井 秀郎
中部大学工学部
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Sugai Hideo
Department Of Electrical Engineering Graduate School Of Engineering Nagoya University
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豊田 浩孝
名古屋大学
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菅井 秀郎
名古屋大
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Sugai Hideo
Nagoya University
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菅井 秀郎
名古屋大学工学部
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菅井 秀郎
中部大学
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菅井 秀郎
中部大学大学院工学研究科
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豊田 浩孝
名古屋大学大学院工学研究科電気工学専攻
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豊田 浩孝
名大
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Sugai Hideo
Department Of Electrical Engineering School Of Engineering Nagoya Univeristy
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菅井 秀郎
中部大学工学部電気システム工学科
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菅井 秀郎
名古屋大学大学院
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中村 圭二
中部大学工学部
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中村 圭二
中部大学工学部電気システム工学科
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中村 圭二
中部大学
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菅井 秀郎
名大工
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豊田 浩孝
名大工
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張 祺
中部大学工学部電気システム工学科
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坂下 洋平
名古屋大学大学院工学研究科
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張 祺
中部大学
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加藤 剛志
名古屋大学大学院工学研究科
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岩田 聡
名古屋大学大学院工学研究科
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綱島 滋
名古屋大学大学院工学研究科
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綱島 滋
名古屋大学
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菅井 秀郎
名大院工
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Tsunashima Shigeru
Department Of Electrical Engineering Faculty Of Engineering Nagoya University
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鈴木 勇佑
名古屋大学大学院工学研究科
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前田 幸春
名古屋大学大学院工学研究科
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陳 長川
名古屋大学大学院工学研究科
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八木 博之
名大工
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加藤 剛志
名古屋大学
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岩田 聡
名古屋大学 工
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綱島 滋
名古屋産業科学研究所研究部
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岩田 聡
名古屋大学
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服部 正
日本電装株式会社基礎研究所
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安藤 正樹
名古屋大学大学院工学研究科電気工学専攻
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原田 亮
中部大学
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石川 喬介
名古屋大学
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石島 達夫
名古屋大学
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笹井 建典
東海ゴム工業
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関根 誠
名古屋大学
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中村 守孝
富士通
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坂下 洋平
名大工
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関根 誠
名大
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木下 啓蔵
NEC
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GANACHEV Ivan
中部大学工学部
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光岡 義仁
デンソー基礎研
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向中野 信一
デンソー基礎研
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光岡 義仁
名古屋大学工学部電気学科
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伊藤 典和
名古屋大学工学研究科
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服部 正
日本電装
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Ganachev Ivan
中部大学工学部:芝浦メカトロニクス株式会社
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細川 雅則
名古屋大学
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福手 隆仁
名古屋大学
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野田 周一
超先端電子技術開発機構
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彦坂 幸信
超先端電子技術開発機構
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木下 啓蔵
超先端電子技術開発機構
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関根 誠
超先端電子技術開発機構
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向中野 信一
日本電装
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田中 秀幸
名古屋大学
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飯尾 真
名古屋大
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菅井 秀郎
名大・工
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松井 洋樹
名大工
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村上 勇夫
名古屋大学工学研究科
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宗宮 暁
名古屋大学工学研究科
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八木 博之
名古屋大学工学研究科
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IHDE J
FZ-Julich
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STORK H
Ruhr-Univ Bochum
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PHILIPPS V
FZ-Julich
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WINTER J
Ruhr-Univ Bochum
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伊藤 典和
東京藝術大学大学院美術研究科先端芸術表現専攻
-
伊藤 典和
名古屋大
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光岡 義仁
名古屋大
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豊田 浩孝
名大・工
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片寄 恭一
名古屋大学工学部電気学科
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菅井 秀郎
名古屋大学工学部電気学科
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豊田 浩孝
名古屋大学工学部電気学科
著作論文
- 8.大面積プラズマCVDプロセスの開発最前線(次世代シリコン太陽電池製造のためのプラズマ技術)
- 周波数シフトプローブを用いたプラズマ計測
- マイクロ波励起高密度プラズマを用いたPTFEフィルムの表面改質
- 周波数シフトプローブにおける膜堆積の影響
- 周波数シフトプローブの電子温度計測への応用
- 周波数シフトプローブを用いた電子密度測定におけるプローブ形状の影響
- デュアル表面波プローブを用いた電子密度・電子温度の計測
- プラズマイオン注入における平板ターゲットの二次電子放出率の計測
- 23aB35P リチウムコンディショニングによるグラファイトの水素リテンション抑制効果の基礎実験(真空・第一壁・材料, (社) プラズマ・核融合学会第21回年会)
- ビッグプロジェクト その成功と失敗の研究, 飯吉厚夫・村岡克紀著, 新潮社, 2008年, 254ページ, ISBN978-4-10-610263-9 C0221
- 3. マイクロ波プラズマ生成における凹凸界面の効果(プラズマと電磁波の相互作用の新規応用 : 空間的・時間的デザインが拓く新機能)
- ジャイアントプラズマプロセス : 低圧から大気圧プロセスまで
- TK06 新しいプラズマ基礎技術の開発研究(プラズマ応用における最近の進展, (社) プラズマ・核融合学会第21回年会)
- 2 プラズマ材料プロセスにおける壁の影響と制御(シンポジウムXI : 低温プラズマと壁)
- 25aB04 リチウムコーティングによるグラファイトの水素リテンション抑制の検討(真空・第一壁・材料)
- 26aB07P リチウムコンディショニングを用いたグラファイトの化学スパッタリングの抑制過程(真空・第一壁・材料)
- 29pA11P グラファイト損耗のリチウムによる抑制効果の壁温依存性(加熱/炉設計)
- 反応性プロセシングプラズマにおける電子密度測定用平板型マイクロ波共振器プローブとシース効果
- RFバイアス光プローブ法を用いた電子エネルギー分布関数の測定
- 分子イオンの表面衝突によるフラグメンテーション過程
- 反応性プロセシングプラズマにおける電子密度測定用平板型マイクロ波共振器プローブとシース効果
- Co/Cu及びPt/Co多層膜における構造と磁気特性のスパッタガス依存性
- Co/Cu及びPt/Co多層膜における構造と磁気特性のスパッタガス依存性(磁気記録とその展開)
- マグネトロンスパッタリングにおける高エネルギー粒子の発生過程と計測
- リチウムコンディショニングによるグラファイトからの炭素スパッタの抑制
- 2. 気相および表面におけるラジカル生成のビーム実験 : 材料プロセス用フルオロカーボンプラズマに関する基礎研究の進展
- 新エッチングガスC_3HF_7Oの電子衝突断面積の測定
- 電子衝突によるC_4F_8の解離断面積の測定
- Joint Conference of 5^(th) International Conference on Reactive Plasmas and 16^(th) Europhysics Conference on Atomic and Molecular Physics of Ionized Gases
- 27aC15P 質量分析計を用いる電離断面積測定におけるイオンレンズ系透過効率の影響(プラズマ基礎・応用)
- 27aC13P SiおよびSiO_2へのフロロカーボンラジカルビーム照射による表面反応観測(プラズマ基礎・応用)
- 26aB03 表面波励起H_2/SiH_4プラズマによる高速・大面積シリコン薄膜形成(プラズマ基礎・応用I)
- 2 SiおよびSiO_2エッチングにおける表面反応のビーム実験(プラズマの基礎・応用研究最前線(中部地区若手・中堅研究者の挑戦))
- 第5回反応性プラズマ国際会議および第16回電離気体の原子分子物理ヨーロッパ会議の合同会議
- 26pB6 単純トロイダル磁場中のECHプラズマを用いた壁コンディショニング(計測/壁相互作用)
- プラズマ界面における異常発光とフラグメンテ-ション
- 28a-ZH-6 プラズマ発光分光法による電子エネルギー分布関数の測定と制御
- プラズマ界面における異常発光とフラグメンテーション