26aB03 表面波励起H_2/SiH_4プラズマによる高速・大面積シリコン薄膜形成(プラズマ基礎・応用I)
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概要
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- 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
- 2002-11-20
著者
-
菅井 秀郎
名古屋大学工学部
-
豊田 浩孝
名古屋大学
-
菅井 秀郎
名古屋大学大学院工学研究科
-
豊田 浩孝
名古屋大学大学院工学研究科電気工学専攻
-
豊田 浩孝
名大
-
Sugai Hideo
Department Of Electrical Engineering Graduate School Of Engineering Nagoya University
-
菅井 秀郎
名古屋大学大学院
-
宗宮 暁
名古屋大学工学研究科
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