プラズマイオン分析器の開発
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概要
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A Plasma ion analyzer for measuring mass, density and temperature of ions in a multi-ion species plasma has been developed. The analyzer is a simple and compact mass spectrometer where the magnetic field confining a plasma is used directly for the 180° magnetic deflection of accelerated ions. The numerical simulations of the analyzer characteristics provide the useful guiding principles for the data analysis as well as the optimum analyzer design. The test measurements of a two-ion species plasma has been made, and the results are in good agreement with the theoretical predictions and the spectroscopic measurements.
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- 7.おわりに(実用化プロセスにおけるプラズマ源の革新〜平行平板プラズマ源から新プラズマ源へ〜)
- 1.はじめに(実用化プロセスにおけるプラズマ源の革新〜平行平板プラズマ源から新プラズマ源へ〜)
- プラズマ診断法 : 種々のプローブ法・質量分析法
- 28a-ZH-6 プラズマ発光分光法による電子エネルギー分布関数の測定と制御
- 低域混成波のパラメトリック 不安定性への有限幅ポンプの影響
- HYBT OK装置における可視分光測定と不純物輸送
- 低域混成波のパラメトリック不安定
- プラズマイオン分析器の開発
- 可視光計算機トモグラフィによるプラズマ像の再生
- レーザ光照射によって生成された固体ターゲットからの多荷イオンのエネルギー分析
- プラズマ界面における異常発光とフラグメンテーション
- 小型オクタポールトカマクにおける炭素不純物量の直接測定
- 低域混成波のパラメトリック不安定
- ベロ-ズ中への磁場の浸込時間
- セシウム励起原子の2光子電離過程
- 高周波加熱実験装置の作製
- 高温プラズマからのレーザ散乱における相対論効果
- プラズマ誘起ア-クへの高周波電場の影響
- スロー・テータ・ピンチへのピンチ予備電離の適用とその結果
- ロート形プラズマ源
- 外部ヘリカル磁場によるエルゴディック磁気リミタの形成
- カ-ボニゼ-ションにおける水素リサイクリングの抑制
- 総論:プロセシング・プラズマの基礎的性質と内部構造 (広がるプラズマの新しい応用--プラズマ・プロセス-1-)