26aB6 新しい高周波バイアス法による壁制御とエッチングへの応用(ヘリカル/プラズマ応用)
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概要
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- 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
- 1999-11-20
著者
-
菅井 秀郎
中部大学工学部
-
菅井 秀郎
中部大学大学院工学研究科
-
菅井 秀郎
名古屋大学工学部
-
中村 圭二
中部大学工学部
-
大脇 政典
名古屋大学大学院
-
Sugai Hideo
Department Of Electrical Engineering School Of Engineering Nagoya Univeristy
-
菅井 秀郎
名古屋大
-
Sugai Hideo
Nagoya University
-
菅井 秀郎
名古屋大学大学院
-
中村 圭二
中部大学工学部電気システム工学科
-
菅井 秀郎
中部大学工学部電気システム工学科
-
菅井 秀郎
中部大学
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