Dependence of Fluorocarbon Plasma Chemistry on the Electron Energy Distribution Function
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概要
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- 社団法人応用物理学会の論文
- 2000-05-15
著者
-
菅井 秀郎
中部大学工学部
-
菅井 秀郎
中部大学大学院工学研究科
-
Kokura Hikaru
Department of Electrical Engineering, Nagoya University
-
Sugai Hideo
Department of Electrical Engineering, Nagoya University
-
Sugai Hideo
Department Of Electrical Engineering School Of Engineering Nagoya Univeristy
-
菅井 秀郎
名古屋大
-
Sugai Hideo
Department Of Electrical Engineering Graduate School Of Engineering Nagoya University
-
Sugai Hideo
Nagoya University
-
菅井 秀郎
中部大学工学部電気システム工学科
-
菅井 秀郎
中部大学
-
Kokura Hikaru
Department Of Electrical Engineering Nagoya University
-
Sugai Hideo
Department O Electrical Engineering Nagoya University
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