Influence of Excitation Frequency on the Electron Distribution Function in Capacitively Coupled Discharges in Argon and Helium
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概要
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- Published by the Japan Society of Applied Physics through the Institute of Pure and Applied Physicsの論文
- 2003-10-15
著者
-
菅井 秀郎
中部大学工学部
-
Sugai Hideo
Department of Electrical Engineering, Nagoya University
-
菅井 秀郎
中部大学工学部電気システム工学科
-
ABDEL-FATTAH Essam
Department of Electrical Engineering, Graduate School of Engineering, Nagoya University
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